圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法.pdfVIP

由上海市科委科技发展基金资助 收稿日期 收到修改稿日期 第 卷 第 期 年 月 光 学 学 报 圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法 郭红卫 陈明仪 上海大学精密机械工程系 上海 摘 要 从理论上提出了圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法 并通过计算机模拟验证了 其收敛性及精确性 证明这种算法对解决 面形测量问题具有重要的意义 关键词 多孔径扫描拼接技术 迭代法 面形测量 引 言 测量大的光学表面 其困难在于需要大的参考平面 子孔径测试技术 试图以小平面阵 列代替大参考平面 以克服这一困难 但存在各小参考平面难以共面 且各子孔径之间关系 无法确定的问题 多孔径重叠扫描拼接技术 即是针对这一弊病发展起来的一项新技术 其基本原理是 使相邻子孔径略有重叠 利用重叠区域求解相邻两个子孔径的相对位置关系 进而实现多个 子孔径的拼接 研究证明 在直角坐标系中 多孔径重叠扫描拼接技术以其简便的算法 在 实际问题的解决中表现出令人满意的效果 近年来 用途广泛的 面形测量技术 迫切要求多孔径重叠扫描拼接技术 由直角坐 标向圆柱坐标移植 并已取得了一定进展 不同于直角坐标 在圆柱坐标系中子孔径之间相 互关系除了平移之外还存在着旋转 并且由于圆柱坐标系下的坐标变换方程远比直角坐标下 的复杂 因而使得圆柱坐标系中的多孔径拼接变得异常困难 目前此项技术的算法主要建立 在圆柱坐标系下的坐标变换方程上 而使超定非线性方程组的求解不可避免 且存在一 定的方法误差 本文在对重叠区域两个子孔径关系的重新认识基础上 提出了一个新算法 即迭代法 其目的是消除旧算法中存在的方法误差 提高子孔径的拼接精度 同时 应用了一组线性化 的坐标变换方程 在保证拼接精度的同时 使算法大为简化 基本原理 图 所示为一待测圆柱面 其面形须由柱面上多个子孔径拼接而成 当测量系统由子孔 径 出发 经过与待测圆柱之间绕 轴的相对转动及沿 轴的移动 而对准子孔径 时 由 于机械系统传动误差 子孔径 的方位偏离名义位置 即存在未知的 对应于空间方向与位置六个自由度的误 差 即关于 坐标轴的线位移误差 以及角位移误差 有理由认为 对于面形连 续变化且变化较为平缓的待测物体 其径向尺寸 对 的变化不敏感 暂不将其计入 那么 误差可表 示为向量空间内的一个向量 这样 可以用下式表示多孔径重叠扫描拼接技术的原理 其中 表示圆柱坐标系下子孔径 中重叠区域的面形 为坐标变换算子 它与向量空间中的一个向量 构成一一映射 算子 作用于面形 使其变换为面形 多孔径重叠扫描拼接技术的关键 即是求解算子 并保 证 与 只是空间方位不同 而形状应保持一致 与子孔径 的重叠区面形重合 当 然 这种重合只存在于理想状态下 工程中 条件 可以修正为 与子孔径 的重叠区面形 距离取得最小值 本文中采用的是最小二乘意义上的最小值 由 式可以看出 由于 面形 中的任意点 在 上或子孔径 上的匹配点 为未知 因此 直接求解算 子 是非常困难的 旧有的圆柱坐标系下的多孔径重叠扫描拼接技术的算法 是建立在下式基础上的 从 式中可以看出 旧算法是近似以重叠区中坐标分量 相同的点作为匹配点的 同 样 算子 与