原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
无尘室定义.ppt
專題討論;無塵室定義:;英制 : 1立方英呎空間內的空氣中含有大於等於0.5um的灰塵顆粒數目 ISO : 標準是大於等於0.5um的塵埃顆粒在1立方公尺內之數目來定義無塵室之等級; ;無塵室種類;垂直室;水平式;亂流室;無塵室四項原則;汙染來源;污染物大於十分之一半導體元件之線寬，就會對產品產生影響;濾網結構：濾網通常事由直徑極小但粗細不等之玻璃纖維（Glass Fiber）任意交錯疊製;濾網原理;濾網種類; 由上而下
文档评论（0）