静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜.pdfVIP

收稿日期! 2004 -05 -19 . 基金项目!国家 863 计划资助项目 2001 AA313090 . 光电器件 静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜 闫金良 烟台师范学院 物理系#山东 烟台 264025 $ 摘 要! 提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜!理论上研究了静电梳齿驱 动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系!分析了变形反射镜的驱 动稳定性!比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力结果表明!变形反射镜的静电驱 动力和变形位移没有关系#在相同的面积下!纵向梳齿驱动器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力 大很多 关键词! 自适应光学 薄膜变形镜 静电力驱动 中图分类号! O484 .21 文献标识码! A 文章编号! 1001 -5868 2005 01 -0019 -03 Electrostatic Comb act uator Membrane Defor mable Mirrors YAN Ji n-li an g De p art ment of Ph y sics Yantai Nor mal Universit y Yantai 264025 CHN abstract NeW micr Oel ectr O mechani cal me mbrane def Or mabl e mirr Or cOnce p ts have been de mOnstrat ed Whi ch use el ectr Ost ati c cO mb act uat Or t O p r Oduce l ar g e str Oke . SO me research have been made t heOreti call y On el ectr Ost ati c act uati n g f Orce and me mbrane def l ecti On versus a pp li ed vOlt a g e an On t he st abl e act uati On f Or mi cr Oel ectr O mechani cal el ectr Ost ati c cO mb act uat Or me mbrane def Or mabl e mirr Ors . The act uati n g f Orces Of el ectr Ost ati c p arall el p l at e ca p acit Or act uat Ors and verti cal el ectr Ost ati c cO mb act uat Or are cO m p ared . The t heOreti cal result s shO W t hat t he el ectr Ost ati c act uati n g f Orce i s i nde p endent Of def l ecti On t he act uati n g f Orce Of verti cal cO mb act uat Ors i s g reat er t han t hat Of p arall el p l at e ca p acit Or act uat Ors at t he sa me secti On . Ke y words ada p ti ve O p ti cs me mbrane def Or mabl e mirr Or el ectr Ost ati c act uati On 1 引言 变形反射镜 以下简称变形镜 是自适应光学技 术的关键器件 主要用于光学系统中校正系统自身 或外部各种因素对光束造成的静态以及动态的波前 误差 1 其特点是在外加力作用下 以高分 辨 力 快 速实现光学镜面面形变化从而改变光束波前位相 使系统成为能动可控的光学系统 现有技术制作的 变形镜都具有体积大 能耗高的缺点 且都采用分别 制造各个单 元 然 后 手 工 装 配 的 手 段 不 能 批 量 生 产 成本高 2 同时 由于采用手工 装 配 巨 大 的 劳 动量限制了变形镜的规模 使得传统技术制作的变 形镜最多能拥有数千个变形镜单元 现有技术已经 严重限制变形镜的应用与发展 近年来 由于甚大 规模集成技术和微加工技术的发展 使微机械薄膜 变形镜在低成本 小型自适应光学系统的应用成为 可能 3 微机械薄膜变形反射镜具有体积 小 成 本 低 能耗低 响应快及集成度高等传统自适应光学系 统不具备的特点 可以用标准化工艺大批量生产 在 天文 航天 光通信 高