用！#$%方法制备的型（）薄膜紫外光电导！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # % !##$ % +KL2#，1K2%，;9?M9:N9O，!##$ （ ） $###C8!%#I!##$I# #% I$’##C# 5*5 J=3;E*5 ;E1E*5 #!##$ *P.2 JPQR2 ;KS2 ############################################################### 用 !#$% 方法制备的 型 ’() 薄膜紫外光电导! 张德恒 刘云燕 张德骏 （山东大学物理系，济南 !#$##） （!### 年 % 月 ! 日收到；!##$ 年 月 $’ 日收到修改搞） 报道了用 ()*+, 方法制备的非掺杂的和 (- 弱掺杂的 . 型 /01 薄膜的紫外光电导特性 2 结果表明这些 . 型样 品具有显著的紫外光响应，而且光响应弛豫时间也较短 2 在弱光范围，光响应随光强的变小呈线性减弱，且光响应 的弛豫时间变长 2 关键词：/01，()*+,，光电导，光响应 *+##：6’，6’4 测器分为光电导探测器（无结器件）和光生伏特探测 $ 引 言 器（结型器件）2 光电导探测器的内部的光电子增益 较高，在同样的紫外光照射下，它比光生伏特探测器 和 族氮化物作为第三代半导体材料的典 有大得多的响应电流 是一种有发展前途的探测器 /01 ! 2 2 型代表是近年来光电子材料领域研究的重要课题 2 研究 /01 的紫外光电导特性不但是研制紫外光电 /01 材料的一个重要应用是制造高性能的紫外光探 导探测器的基础，而且还可从中获得材料能带结构 测器 2 紫外光电导探测器可应用于科研、军事、太空、 的信息 2 本文报道了用 ()*+, 方法制备的未掺杂 环保和许多工业领域，对紫外光探测器的研究具有 的和 (- 弱掺杂的 . 型 /01 薄膜的紫外光电导特 重要的意义 2 与其他材料的紫外光探测器相比，/01 性 2 紫外光探测器有其独特的优点：$）/01 是宽带隙材 料（ ），用它制造的紫外光探测器对波长 实 验 !- 7 829+ ! 大于 84 .: 的可见光和红外光是不敏感的，而对于 本文所用样品由北京大学物理系提供 样品的 波长小于 84 .: 的紫外光却有显著的光响应 2 这对 2 ［ ，］ 于在可见光和红外光背景中探测紫外辐射是非常重