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PAGE \* ROMAN \* MERGEFORMATIII 机电助理工程师职称论文 （浅析机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上的应用） ——蒋攀 成都巨峰玻璃有限公司（157厂） 2016年8月  目录  TOC \h \z \t 标题 3,1,标题 4,2,标题 5,3,标题 6,4  HYPERLINK \l _Toc458621521 摘要  PAGEREF _Toc458621521 \h 1  HYPERLINK \l _Toc458621522 1 机电技术简概  PAGEREF _Toc458621522 \h 2  HYPERLINK \l _Toc458621523 2 真空磁控溅射镀膜原理及其特点  PAGEREF _Toc458621523 \h 2  HYPERLINK \l _Toc458621524 2.1 真空磁控溅射镀膜原理  PAGEREF _Toc458621524 \h 2  HYPERLINK \l _Toc458621525 2.2 真空磁控溅射镀膜特点  PAGEREF _Toc458621525 \h 2  HYPERLINK \l _Toc458621526 3 真空磁控溅射镀膜设备  PAGEREF _Toc458621526 \h 3