大行程超精密工作台的研究.pdfVIP

机械设计与制造 第6期 130 Machinery Design Manufacture 2010年6月 文章编号：1001—3997(2010)06—0130—02 大行程超精密工作台的研究术 林海波 杨 国哲 黄小良 (台州职业技术学院 机电工程学院，台州 318ooo)(沈阳工业大学 机械工程学院，沈阳 110023) Designofalargetravelultraprecisionstage LIN Hai—boI,YANG Guo-zhe，HUANG Xiao—liang (TaizhouVocationalTechnicalCollege，Taizhou318000，China) (SchoolofMechanicalEngineering，ShenyangUniversityofTechnology，Shenyang110023，China) 【摘 要】该微动平台采用花岗岩作为机架材料，以压电陶瓷直线电机驱动平台，选择RENISHAW 的RGH25光栅作为反馈和宏微双驱动协调控制伺服输出，并提出了提高定位精度的方案。为研究微动工 作台提供了参考。通过实验对工作台的性能进行分析，证实平台设计的可行性。 关键词：压电陶瓷；微定位平台；宏微双驱动 【Abstract】Themicro—motionstage，itsframeworkmadeofgranite，isdrivenbypiezoelectricceramic linearmotor．RGH25ofRENISHAWrgatingshavebeenchosentoprovidefeedbacksandserve0_8either macro-driveormicro—drive，putforwradaprorgamtoimprovepositioningaccuracy．Thisprovidesrefer- enceforthereserachonmicro—motionplatform．Finallyaperofrmnaeetesthasbeencrariedouttoco rm thefeasibilityofthestage． KeywOrds：PiezOelectricceramic；M icro-positioningstage；M acro-microdualdrive 中图分类号：TH16 文献标识码 ：A 1概述 我国与工业先进国家间还存在着较大的差距，为此应加快提 高我国超精密加工技术的水平。本文正是针对这种需求，提出一 高精度和高分辨率的精密微位移系统在近代尖端工业生产 种新的、可用于多种微加工方法的、低速、多自由度的、具有纳米 和科学研究领域内占有极其重要的地位。它是直接影响精密、超 精度的适合于三维极微细电火花加工平台。 精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平 的关键环节，同时它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重 2系统关键部分的实现 要标志。纳米定位技术作为关键技术之一将左右着各学科纳米技 2．1工作台的设计 术的发展。在超精密加工技术的研究和发展中，它也是实现超精 移动平台能实现 、y、z三个方向上的精密移动，工作台的 密切削的首要条件 ，采用微动进给机构实现刀具的精确微小位 行程为 150mmx150mm~100mm。由花岗岩平台与桥架、X／Y运动 移，并在加工过程中对加工误差做出相应补偿是保证零件加工尺 平台及Z向运动平台组成，由于花岗岩材料的刚性大，阻尼系数 寸精度、实现精密、超精密切削加工的必要手段，实现先