微铣刀制备技术与实验研究.pdfVIP

《电加工与模具)2016年第3期 工艺 ·装备 微铣刀制备技术与实验研究 杨正杰，张勇斌 ，徐凌羿 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900) 摘要 ：微铣刀制备技术是微细铣 削的关键技术之一 ，对微细铣 削加工出的微 小零部件的特征 尺寸和表面质量有重要影响。从微铣刀具的材料与涂层及其制造工艺两方面，对微铣刀制备技术 进行 了介绍 ，并通过线 电极 电火花磨削方法制备 了刀头直径为 100 m的微铣刀，初步验证 了基于 自研 txEM一200CDS2微细组合电加工机床开展微铣 刀在位制备的能力。 关键词 ：微铣刀；材料与涂层 ；制造工艺 ；在位制备 中图分类号 ：TG661 文献标识码 ：A 文章编号：1009—279X(2016)03—0056—06 ExperimentalStudyonM anufacturingTechnologyofM icroM illingTools YangZhen~ie，ZhangYongbin，XuLingyi (InstituteofMachineryManufacturingTechnolog，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， Mianyang621900，China) Abstract：Manufacturingofmicromillingtoolsisoneofthekeytechnologiesinmicromilling， whichhasanimportantinfluenceonfeaturesizeandsurfacequalityofthemachinedsmallparts．The paperreviews materials，coating and typicalmanufacturing technics of micro milling tools，then introducesonpreparationofmicromillingtools．Themicromillingtoolswith cuttingedgediameterof 100 mwerefabricatedwithwireelectro—dischargegrinding (WEDG)method，andsomemicromilling experiments were conducted using tzEM ——200CDS2 micro aggregate machine toolto study the performanceofmachinedmicromillingtools． Keywords：micromillingtool；materialsandcoating；manufacturingtechnics；preparationfabricate 近年来 ，高精度的微小零部件在航空航天、生 小会引起铣刀热膨胀 的减小和静态刚度 的增大 ，同 物医学、电子工业、环境工程、通信及汽车制造等行 时由于固有频率的提高会增加切削系统的动态稳 业 的应用需求不断增加。微小零部件的加工需采取 定性3[1。但在微细铣削加工 中，由于刀具及其切削参 可靠性高、可重复性好的加工方式 ，目前其加工方 数的缩小会带来尺度效应(图 1)，使切削力增大，刀 式主要有 ：LIGA技术、激光加工、离子束加工、超声 具易磨损和破损 ，切削状态极其复杂 。因此 ，微铣 振动加工 、微细电火花加工、微细切削加工等 】。在 刀直接影响微小零部件的特征尺寸和表面质量，其 微细切削加工领域 中，微细铣削能 以较高的材料去 制备技术一直是微细铣削的关键技术之一。 除率加工多种工程材料 ，并能加工复杂形状的三维