生物芯片微流道的微细加工工艺.pdf

《电加工与模具12014年第3期 工 艺 ·装备 生物芯片微流道的微细加工工艺 江树镇 ，郭钟宁，郑文书，黄红光 (广东工业大学机电工程学院，广东广州 510006) 摘要：在生物芯片发展初期，其基底材料主要是玻璃，这是 由于其加工方法是从半导体工业转 移而来和玻璃材料的表面特性决定的。随着大批量、低成本的需求，基底材料转向聚合物材料，其 加工方法也相应地发生转变。通过对比．介绍了生物芯片微流道微细加工的几种不同方法的原理 及特点。 关键词 ：微细加工；微流道 ；刻蚀 ；微成形 中图分类号：TG662 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2014)03一O066—05 TheM icroM achiningProcessesofM icrochannelsonBiochips JiangShuzhen，GuoZhongning，ZhengWenshu，HuangHongguang (GuangdongUniversityofTechnology，510006，China) Abstract：Intheinitialdevelopmentofbiochips，themainlysubstratematerialwasglassduetoits machiningmethodswasderivedfrom thesemiconductorindustrialand itssurfaceproperty．With the requirementofmassproduction and lowercost，thesubstratematerialsturned to polymersand its machiningmethodschangedcorrespondingly．Bycomparing，theprinciplesandcharacteristicsofseveral typical methodsusedinthemicromachiningofbiochipmicrochannelswasintroduced． Keywords：micromachining；microchannel；etching；micromolding 生物芯片(或芯片实验室)是集成 电路芯片技 硅 、玻璃或石英是微流体芯片的主要基底材料 。硅 术在生物化学领域 的延伸和推广 ，是生物化学分析 的微加工技术最成熟 。无论是化学湿法刻蚀还是反 与实验的微型化。传统的生物或化学实验装置是烧 应离子深刻蚀 ．都能用来制作微流体通道 ：采用硅 杯、烧瓶与连通管的组合 ，还包括注液、输液与检测 材料 的另一个重要原 因是硅片能和玻璃通过 阳极 系统；而生物芯片将这些系统都微缩到一个几厘米 键合形成非常好的密封结构，这是保证微流体系统 或十几厘米大小的平面基底上 l【】。使用生物芯片的 正常工作的首要条件 。而玻璃密封 的微流体加工相 好处有：减少制造、使用和处理的费用：减少分析时 对于硅要困难得多．干法腐蚀 的速率非常低 ，湿法 间；减少试剂和分析物的使用量 ：减少有害产物的 腐蚀难以控制微流体通道的结构尺寸。此外 ，玻璃 产量 ；增强便携性 ；解决 了有些研究在大尺度装备 与玻璃的密封也 比玻璃与硅的密封困难得多。 中很难甚至无法进行的问题回。 1．1 硅的刻蚀技术 生物芯片按结构形式可分为微点阵芯片与微 早期的微流道系统技术是从微 电子产业转移 流体芯片两大类。微点阵芯片是大量规则排列的点 而来 ，经各种曝光技术 (如光学曝光 、电子束曝光、 阵；微流体芯片的结构 比微点阵芯片复杂得多。其