大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计 .pdfVIP

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2017-05-08 发布于河南
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大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计 .pdf

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大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计

学兔兔第卷第期光学仪器，３７６Ｖｏｌ．３７Ｎｏ．６　　　　年月Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１５１２ＯＰＴＩＣＡＬＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ２０１５文章编号：（）１００５５６３０２０１５０６０５２２０４　　大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计曲艺，苏东奇　（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春１３００３３）　摘要：设计了一款口径为高精度斐索激光干涉仪参考镜，其数为，参考面半径３０．４８ｃｍ犉０．８２为２２４．９９ｍｍ。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为０．０９５λ，均方根值为０．０２８λ，透射波前斜率最大值为１１ｒａｄ。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响，其最大值为 μ ０．２９ｎｍ。利用Ｚｅｍａｘ光学设计软件对参考镜进行了仿真分析，仿真与实验结果表明，该标准镜头可满足精度１ｎｍ的元件面形检测需求。关键词：光学设计；斐索干涉仪；标准镜头；面形测量中图分类号：文献标志码：：／Ｏ４３Ａ犱狅犻１０．３９６９．ｉｓｓｎ．１００５５６３０．２０１５．０６．０１１　　ｊ犇犲狊犻狀狅犳犪犺犻犺狉犲犮犻狊犻狅狀狉犲犳犲狉犲狀犮犲狊犺犲狉犻犮犪犾犾犲狀狊犳狅狉犉犻狕犲犪狌犻狀狋犲狉犳犲狉狅犿犲狋犲狉犵犵狆狆，犙犝犢犻犛犝犇狅狀犻犵狇（，，，，）ＣｈａｎｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｔｉｃｓＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｓｉｃｓＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓＣｈａｎｃｈｕｎ１３００３３Ｃｈｉｎａｇｐｙｙｇ：犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｈｉｈｒｅｃｉｓｉｏｎｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓｈｅｒｉｃａｌｌｅｎｓｉｓｄｅｓｉｎｅｄ．Ｔｈｅ犉ｎｕｍｂｅｒｏｆｔｈｅｌｅｎｓｉｓｇｐｐｇ