微压痕仪的刚度标定.pdfVIP

研究与 DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2015．08．009 微压痕仪的刚度标定 官春平 (广东轻工职业技术学院，广东广州 510300) 摘要：为了测量压痕仪的加载刚度，根据0liver_Pharr模型 ，建立了系统的总刚度与最大压痕载荷的关系。实验结果表明，该 方法可以快速地测量加载机构的刚度。 关键词：压痕；刚度；标定 中图分类号：TB938．2 文献标识码：A 文章编号：1009—9492(2015)08—0029—02 Sti‰ essCalibrationofIndentation GUANChun——ping (GuangdongIndustryTechnicalCollege，Guangzhou510300，China) Abstract：Toobtainstiffnessoftheindentationloadingmechanism，afunctionbetweenstiffnessandthemaximum indentationforceis establishedbasedontheOliver-Pharrmethod．Theresultsofexperimentshow thatthismethodcanquicklymeasurethestiffnessofthe loadingmechanism． Keywords：indentation；stiffness；calibration 目前，测试纳米材料、薄膜及表面涂层等微 的测量 。压痕仪 的 小体积材料的弹性模量和硬度等力学性能参数的 工作原理简图如图1 方法主要是纳米压痕法。其原理是通过采集压头 所示。 压人材料的过程中，连续记录试验中的载荷一位 外部载荷F通过 移曲线 ，然后通过该曲线来计算材料的弹性模量 加载机构将力施加 和硬度等参数。为了获得准确的载荷一位移曲 于压头上 ，经过压 线，一方面采用高精度的载荷、位移传感器，另 头与被测材料 的接 一 方面必须对压痕仪的加载系统的刚度进行标 触 ，实现被测材料 定，并将其产生的位移分量从测得的总位移中去 的局 部 弹 塑 性 变 除掉，从而获得高精度的压头位移量。因此压痕 形。图1中的 代表 仪的刚度标定是压痕法测试的一项重要工作，是 加载机构的刚度， 保证仪器测试精度的必要手段n。本文在对广泛使 代表压头与被测材 用于纳米压痕法的Oliver—Pharrt模型进行分析的 料的刚度 ，h为压头 基础上，通过压痕试验，完成压痕仪的刚度标定。 的位移量。 10liver—Pharr压痕测试原理 目 前 ， Oli． 20世纪90年代发展起来的压痕技术，现已广 ver—Pharr压 痕 测试 底座 泛应用于微纳材料及涂层材料的弹性模量、硬 方法在商用的纳米 度、硬化指数、残余应力和断裂强度等力学性能 压痕仪上得到广泛 图1 压痕仪的工作原理简图 收稿 日期：2015—03—24 [二