基于次波长谐振原理的新型压力传感器.pdfVIP

第23卷 第 lO期 传 感 技 术 学 报 V01．23 No．10 2010年 10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2010 A NovelPressureSensorBasedon SubwavelengthResonator CHEN Hongsheng ，1．InstituteofChemicalMachinery， angUniversity，Hangzhou310027，China； 、 ＼2．ResearchInstituteofHangzhoaWahahaGroupCo．，Ltd．，Hangzhou310018，China] Abstract：Usingaonedimensionalsubwavelengthleft—handed／right—handedresonator，anew pressuresensoris proposed．Theresonatoriscomposedoftwolayers，oneisaleft—handedmedium withnegativerefractiveindex，the otherisaright—handedmedium withpositiverefractiveindex．Theright—handedmedium isconnectedwithastrain diaphragm ．Simulationresultsshow thattheresonantwavelengthisalinearfunction ofthelogarithm ofthepres— sure，exhibitingagoodresolution．Theresonatorcanbedesignedverythin，indicatingthesuperiorityofthepres— suresensorintherealapplications． Keywords：pressuresensor；resonator；straindiaphragm ；resonantwavelength EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2010．10．013 基于次波长谐振原理的新型压力传感器术 陈红生 ／1．浙江大学化工机械研究所，杭州 310027；、 ＼2．杭州娃哈哈集团研究院，杭州 310018 ／ 摘 要 ：利用一维的次波长左／右手谐振器结构，提出了一种新型的压力传感器。谐振器由两层结构组成，一层是具有负折 射率的媒质，另一层是具有正折射率的媒质，正折射率媒质部分与压力薄片相连。研究结果表明，当压力变化时，谐振器的波 长随压力的对数值呈线性变化 ，具有较高的灵敏度，由于这类谐振器可以做得很薄，在实际应用中具有很大的优势。 关键词 ：压力传感器；谐振器；压力膜片；谐振波长 中图分类号：TP212．1；TP212．9 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2010)10—1426-05 传感器技术是现代测量和 自动化系统的重要技 件主要由空腔体构成，由于空腔体的直径与弹性膜 术之一。在对气体或者液体的压力传感领域，具有 片厚度决定了传感器的量程 ，因此，在加工过程中应 高精度、高灵敏度 、动态响应快 、测量范围宽、无电磁 严格控制腔体尺寸。 干扰、耐恶劣环境、并能够进行分布式遥测等优点的 本文提出了一种基于左／右手谐振器结构的新 新型压力传感器将越来越受到重视 。其 中谐振 型压力传感器，可 以做得很薄，在厚度上可以小于一 式压力传感器以其高精度，良好的长期稳定性广泛 个谐振波长，在实现传感器小型化方面具有重要的 应用于气压与高度测量、压力 自动校准 以及精密过 意义。这