基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器.pdfVIP

0A 0 2011年 第30卷 第3期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 141 =刖 沿 技 ～术一 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 肖育华 ，宋朝辉 ，戈肖鸿 ，车录锋 (1．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室。上海 200050； 2．中国科学院 研究生院。北京 100049) 摘 要 ：设计 了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器 ，中央可动微镜 由四组蛇形 曲折梁支撑 。驱动器 的制 作采用硅一硅键合技术，首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿 ，然后通过各向异性湿法 腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确 自对准，最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳 齿在垂直方向上产生位错 ，成功制作出在z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。 关键词：蛇形曲折梁；塑性变形 ；垂直驱动；静 电梳齿驱动器 中图分类号：TM304 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2011)03-0141-04 Serpentineelasticbeam verticalcomb actuatorusingsilicon plasticdeformation XIAO Yu—hua，。 SONG Zhao．hui，GE Xiao—hong ，CHE Lu—feng ， (1．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ShanghaiInstituteofMicrosystem andInformation Technoloyg ，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China；2．GraduateUniversityof ChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：A verticalcombactuatorbasedon theplastic—deformation processjSdesigned．Themovablecenter micro—mirrorissustainedbyfourgroupsofserpentineelasticbeams．ThefabricationofactuatorisbasedonSi—Si bondingtechnology．TheDRIEetchingmethodisusedtoreleasethemovablecombsandfixedcombs．Theprecise serf-aligningbetweenthemovablecombsandfixedonesisimplementedwiththeusageofthestageonthecover waferfabricatedbyKOH anisotropicetching．Theverticaloffsetstructureisgeneratedbetweenmovablecombsand fixedones with the plastic—defomr ation process and a Z direction electrostatic verticalcomb actuator with serpentineelasticbeam isfabricatedsuccessfully． Keywords：seprentineelasticbeam；plasticdeformation；verticaldrive；electrostaticcombactuator 0 引 言