飞行器用高精度小量程石英微加速度计研究.pdfVIP

飞行器用高精度小量程石英微加速度计研究.pdf

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飞行器用高精度小量程石英微加速度计研究

传 感 技 术 学 报 796 WWW.chinatransdueers.eom 第28卷 哪/ 习辗 要 丑蜂 2 , ‘ l 变为了过阻尼状态,带宽由200Hz减小为 10Hz以 伽伽姗姗瑚瑚渤 如0 下,达到了缩减带宽的目的。 铷 咖 0 4.2 输 出线性度实验 将原理样机固定在分度头上,旋转分度头进行 测试,利用安捷伦 l6位数采卡U2355A采集输 出数 0 l0 1oo 1Ooo 据 ,采样频率为 1ksample/s,每 10。采数一次,每个 频率 /Hz 角度采样 70s,线性度输 出曲线如图 11所示 。测试 (a)O.101IVIPa封装幅频曲线 350o 结果线性度较好 ,±1g 量程时非线性度为0.7%,灵 一 … } m w 。 ;01 一 F …{一一_¨ 3Oo0 敏度为 4.48V/g。 宅2500 0—0=0__l ≥斗 0 2000 ; j ≮2—豢 望1500 一 q {: t 重 , { 之 簿 1000 壬 500 0— 二 ÷ 图 1l 原理样机 线性度输 出曲线 器 一 一 一 一 一 一 一 一 一 O 0 O O 0 O O 0 O i } 2 2 2 8 8 8

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