基于人工鱼群霍夫变换的单晶硅直径检测.pdfVIP

学兔兔 第35卷 第4期 仪 器 仪 表 学 报 V01．35 No．4 2014年4月 Chinese Journal of Scientifc Instrument Apr．2014 基于人工鱼群霍夫变换的单晶硅直径检测水 张新雨，刘 丁，杨 文，杨延西 (西安理工大学自动化与信息工程学院 西安 710048) 摘 要：为提高单晶硅直径检测的速度和精度，首先将单晶硅直径检测转换为在图像中对高亮光环进行椭圆检测的问题，并依 据此提出了一种基于人工鱼群霍夫变换的椭圆检测方法，该方法在参数空间中由人工鱼群算法搜索霍夫变换之后使得累加器 达到最大值的椭圆参数最优解，从而得到精确的单晶硅直径测量值。最后通过基于带有高斯白噪声的完整椭圆、不完整椭圆的 仿真实验和单晶硅直径检测工程实验进行验证，并且和5种传统方法(最小二乘法、霍夫变换、随机霍夫变换、粒子群霍夫变换 和RANSAC)进行对比。实验结果表明，所提方法有效地提高了霍夫变换椭圆检测的速度和精度，从而提高了单晶硅直径检测 的速度和精度。 关键词：单晶炉；直径检测；椭圆检测；人工鱼群算法；霍夫变换 中图分类号：TP202 ．2 TP274 ．2 TH71 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．40 Diameter detection of single crystal silicon based on artificial fish swarm algorithm·Hough transform Zhang Xinyu，Liu Ding，Yang Wen，Yang Yanxi (School ofAutomation and Information Engineering， ’an University of Technology， ’an 710048，China) Abstract：To improve the speed and accuracy of single crystal silicon diameter detection，the problem of single crystal silicon diameter detection is transformed to the problem of ellipse detection on the highlight halo in the image firstly，and an ellipse detection method based on artificial fish swarm algorithm—Hough transform is proposed．The method uses artificial fish swarm algorithm to search the opti— mum ellipse parameters in the parameter space that make the accumulator obtain maximum value after using Hough transform．Then the accurate measurement value of single crystal silicon diameter is obt~ned．The simulation experiments on the complete and incomplete el— lipses with Gaussian white noise and the single crystal silicon diameter detection exper