第11章 斡擘波与等离子体下的无际合成.ppt

第11章微波与等离子体合成;1. 微波加热原理-概　述;微波谱; 微波加热;微波加热;微波加热;介电耗散因子;介电耗散因子;2.微波辐射在无机合成中的应用; 沸石分子筛的合成;NaX沸石的微波合成;NaX沸石的微波合成;微波合成沸石分子筛的优点;沸石分子筛的离子交换;微波固相反应;微波固相反应;Pb3O4的微波法制备; 多孔材料上无机盐的高分散;多孔材料上无机盐的高分散;3.微波等离子体化学(microwave plasma chemistry);微波等离子体化学;微波等离子体及其特点;德拜长度(Debye Length);当ne在109-1015范围内，相应的等离子体振荡频率就落在微波频段内，振荡周期是等离于体电中性条件成立的最小时间尺度，只有等离子体其存在时间ττp(或τωp1)才能成为具备自己特有性质和行为的等离子体，否则仍属于气体。 所谓等离子体是满足(Lλp，τωp1)这些条件，在宏观上呈电中性的???离气体。若把微波加到气态物质中，在一定条件下，形成的电离气体(例如电离度＞0.1％)称为微波等离子体。 ;等离子体的类型;高温等离子体;低温等离子体;等离子体中主要基元反应过程;1.电离;(1) 电子碰撞电离;电离机制的不同，又可将电子碰撞分为如下几种;(2) 亚稳态粒子的作用及Penning电离;有亚稳态粒子参与的电离过程也可依不同特点分为以下几种：;②Penning电离：;③ 亚稳态粒子间的碰撞电离;(3)离子碰撞电离;(4)光电离;2.激 发(excitation);3.复合(recombination)过程;1)三体碰撞复合;2) 辐射复合;3)正负离子碰撞复合;4.附着和离脱;等离子体诊断;从目前等离子体化学发展水平看，比较有用的等离子体反应主要有以下四类;第①类反应;第②类反应;第③类反应;第④类反应;小 结; 获得微波等离子体的方法和装置;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;下图是产生微波等离子体的装置的基本框图;下图则是一种微波等离子体辅助CVD反应器，利用此反应器成功地在非常低的基片温度（约100度）下沉积出质量很好的氧化硅膜。稍加修改后，也可用于其他合成化学反应。;微波等离子体的应用