压电薄膜变形镜响应函数计算及参数优化.pdfVIP

强激光与粒子柬 第 23 卷第 5 期 Vo l. 23 , No.5 2011 年 5 月 HIG H POWER LASER AND PARTICLE BEAMS May , 2011 文意编句: 1001-4322(2011)05-1255心4 压电薄膜变形镜晌应函数计算及参数优化. 汪德恩1·2 ， 胡东霞l ，代万俊1 ， 赵军普1 ， 袁 强1 ， 3 ， 景 峰1 ， 李小群l (1.中国工程物理研究院激光.变研究中心，四川绵阳 621900 ， 2. 中国工程物理研究院研究生郁，四川绵阳 621900 ， 3. 清华大学工程物理系，北京 100084) 摘 要: 针对方口径压电薄膜变形镜，采用傅里叶级数法推导了其机电行为的数学解衍式.并利用该表 达式对该类变形镜的交联值、使用口径等性能指标进行了研究.结果表明g 交联简随咆银尺寸锺线性变化关 系.在可用范围内保待在 0.6 以上，压咆部膜变形镜大的交联值保证了其对低阶像差强的校正能力F 变形镜的 校iE能力与通光口径密切相关，其最佳使用口径比的为 0.8. 关键词: 白酒应光学$ 应电薄膜变形镜z 响应函败， 交联值$ 使用口径 中阁分类号: 0439 文献标志码: A dol: 10. 3788/HPLP 1255 被前畸费是影响惯性约束聚变(ICF) 驱动器光柬传输、打靶效率的关键因素之一C11 ，自适应光学(AO)技 束能够有效地解决这一问题[叫。变形镜作为自适应光学系统的核心糟件，其性能将直接影响波前校正的效 果。目前，周内外 ICF 驱动装置中普通应用的是分立敖动变形镜，这种变形镜采用压电堆驱动，具有灵敏度 商、光能利用率高、动态范阻大等优点，但工艺复杂，造价昂贵。且 ICF 驱动器一般为多蹄，靠在个装置中自酒店 光学系统的造价也就随之大幅提高.双Æ咆片变形镜具有制作工艺简单、动态拖围大、激光辐照破坏阐值南、 低阶像兼校正能力强、可与刷率传感器配合使用提高 AO 系统的响mL班服等优点川，是用于 ICF 服动器被前校 正系统的极佳选择。我国关于观压电片变形镜的研究起步鞍晚，且以圆形口径、崩形电极的双压电片变形镜为 .3:[叫。针对 ICF 驱动器的方口径光束的特殊需求，本文提出了一种方形口径、方形电极的变形镜结构，因只 有一腿根郁的压电腥，所以将其称为压电部膜变形惋(PFDM) ，推导得出了该种变形镜的机电行为最达式，并 对器件的部分性能指标做了分析. 1 压电薄膜变形镜机电行为的理论分析 方口径压电薄膜变形镜的结构如图 1 所示，当给电极施加电压时，压电恩会因逆向压电敢mL而产生横向变 形，衬底启保持不变，变形镜的表团就会因此发生变形。 E. Steinhaus 租 S. G. Lipson 等人根据最小势能原理推出了双压电片变形镜机电响应方程[10] 2 V‘ W+AV V 嚣。(1) 式中:W 为镜由圆形， A 是与材料性质有关的物理量IV 是施加电应。 假设变形镜镜宽为a ， 长为b ， 以变形镜的左下角作为坐标原点。压电愿背丽存在电椒，其中心坐标为(.xo .Yo). b 。 x Fig.l Structure of piezoelectric film deformable mirror(PFDM) 因 l 变形锐的结构示.倒 • 1险精臼剿:201