静电放电概论-ESDAssociation.PDF

靜電放電概論 第五部分—器件之敏感度及測試 © 2014 ，靜電放電協會，紐約州羅馬市 本系列第二部份（ESD 控制原則及 ESD 控制方案建立 ）指出，靜電控制方案之所以 能成功，關鍵因素是確認這些項目（元件、組件和成品）是否屬靜電放電敏感物體（ ESDS ）；若是，則需確認其敏感度為何。ESDS 對 ESD 事件的敏感度，是依其放電能量 消散或分流的能力，或其耐流及耐壓程度來認定。雖然能量或（尖峰）電流是極重要的參 數，但 ESD 敏感度通常是以耐受電壓來分類。耐受電壓則依放電電壓而定，不是依 ESDS 的測量電壓。我們在第二部分中提到： 確立廠區的靜電控制目標。目前使用的靜電放電敏感物體（ESDS ）中，哪種對 ESD 最敏 感？製造或運送中產品的耐受電壓等級為何？若想知道相關規定，最好先瞭解廠房各種設備對 人體模型（HBM ）和帶電器件模型（CDM ）的敏感度。ANSI/ESD S20.20 中有 HBM 100 伏特 敏感物體控制方案的相關規定。 自動化設備中的某些器件可能更易發生放電損害，其他器件則傾向因人員處理而導致 損害。在第五部分中，我們將介紹各種模型和和測試流程，並依特性及定義將各種組件的 ESD 敏感度分級。這些測試流程主要是針對兩種 ESD 事件模式：人體模型（HBM ）和帶 電器件模型（CDM ）。這些模型用於執行組件測試，無法含括所有可能的 ESD 事件，且 現場和測試系統間的放電並無直接相關性。雖然如此，這些模型已成功證實可仿造 99％ 以上的 ESD 現場故障特性；而且，相較於真實世界事件中相同的放電電壓，這些模型在 測試系統中的耐受電壓通常預設為最壞情況。配合標準化的測試流程，產業可以： ‧開發並量測合宜的晶片上保護裝置。 ‧進行器件之間的比較。 ‧作為靜電放電敏感度的分級系統，以協助進行ESD設計和監測，並符合製造和裝 配環境要求的條件。 ‧應備妥測試流程說明書，確保成果的可靠度及重複性。 人體模型表現（HBM ）測試 靜電放電損害最常見的原因是，人體或帶電材料將靜電荷直接移轉至靜電放電敏感物 體（ESDS ）上。在地板上行走時，身體便開始累積靜電荷。手指輕觸（或靠近）ESDS 或組件的導電引線時，身體便會放電，且可能使器件受損。這種放電模式稱為「人體模型 」（HBM ）。 在各種 ESD 器件敏感度分級模型中，人體模型是最早也最普遍使用的。HBM 測試模 型是指當個體站立時，其指尖的放電傳遞至器件上。該模型通過一個開關元件，以高歐姆 電阻器（通常為兆歐級）將 100 pF 電容器充電後，在待測器件和與之相串聯的一個 1,500 [ 1 ] 歐姆電阻器上放電，器件最後接地或到達低電位。十九世紀時，這種模型是用來調查礦坑 軍用標準 MIL-STD-883 方法第 3015 中的氣體混合物爆炸事件。軍方採用了這種模型（ 號 ），另在 ANSI/ESDA-JEDEC JS-001 ：靜電放電敏感度測試－ 人體模型中亦引用。本 份文件取代之前的 ESDA 和 JEDEC 方法（分別為 STM5.1-2007 和 JESD22-A114F ）。簡 易版的人體放電模型電路圖（測試系統無寄生效應）詳圖 1 。 高電壓 受測 供應源 器件 Figure 1: Typical (simplified) Human Body Model Circuit 典型的 HBM 波形有 2 至 10 奈秒的上升時間、0.67 安培／千伏特的電流，及 200 奈 秒脈衝寬度的雙重指數信號衰減波形。典型情況下，HBM 的脈波能量是導致故障的決定 性參數。