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20单元双压电片变形镜对Zernike像差空间拟合能力的实验研究.pdf

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20单元双压电片变形镜对Zernike像差空间拟合能力的实验研究.pdf

Vo 1. 29. No.7 第 29 卷第7 期 光学学报 2009 年 7 月 2009 文意编号: 0253-2239(2009)07-1756-05 20 单元双压电片变形镜对Zernike 像差空间 拟合能力的实验研究 宁岗1.2 余浩1,2 周监1.3 烧长辉1 委文汉l ( 中同科学……l川| 州忡町……6创川阳l川川川0ω2 2 罔防科学技y术R大学光咆科学与士程学院湖南长沙 4100731 8 中国科学院研究生院,北京 100039 J 摘要 利用 20 单元双压电片变形镜平日 13X 13 阵列哈特曼波前传感糯所构成的闭环自油脂光学系统,实验测试了 双版电片变形镜对 3-20 项静态 Zernike 像羔的2段~ r同校.iE能力,并将实验结果与仿真计算结果进行 r对比。最后 分析了哈特曼传感器与双压电片变形镜之间的对准误毅对实验结果的影响。研究表明,除了少数儿项外,双版电 片变形镜对 3~20 项 Zernike 像差的拟合误差都小子 0.5. 各项 Zernike 仿真和实验结果之盖平均小子 0. 1,计算 表明,与严格对准的埋怨情况相比,双压电片变形镜对 3-20 项 Zernike 像菜中火多数项的拟合误差都随着失配程 度的增加而增大,对准精度对于高阶像羔拟合效果的影响Jt其严霞。 关键诩 向适应光学$变形反射镜;空间拟合能力;泽尼克像楚;对准误袭 中团分类号 。438 文献标识码 A doi: 10. 3788jAO 1756 Experimental Research on Spatial Fitting Capability to Zernike Aberrations of 20-Element Bimorph Deformable Mirror 1 2 1 2 1 3 1 Ning YU • Yu Hao • Zhou Hong • Rao ChanghuP Jiang Wenhan I Institute 01 Optics 州d Electronics. Chi悦ese Academν of Sciences. Chengd饵 • Sich1础n 610209 , China 2 College 01 Photon-electr肌, Science αnd Engíneering , Nαtional Universitν 01 Defense Technology , Chαηgshα , Hunαη 410073 , Chinα 3 Graduαte Uníversity of Ch切ese Academy of Sciences. Beijing 100039. Chínα Abstract A closed-loop adaptive optics system , which consists of a 20-element bimorph deformable mirror and a Shack-Hartmann wave翩 front sens

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