电化学加工机理.pdfVIP

基于电容模型的脉冲电解、电化学光整、蚀刻加工机理分析 王希 赵东标 云乃彰 (南京航空航天大学 机电学院 南京 210016) wy7072@ 摘要 本文用一个动态变化的电容模型来描述电化学加工过程，从一个全新的角 度电容，来解释电化学加工的机理。利用电极体系的等效阻抗的变化来解释脉冲电 解中线性电解液非线性化的现象；通过界面双电层电容值的变化来解释脉冲电化学光 整加工提高精度的根本原因；在脉冲电化学蚀刻中由于保护膜产生的类似电解电容效 应，使该处的电容值显著变化，从而解决了在纯化学蚀刻中出现的侧向腐蚀问题。 关键词 电解加工 电化学光整 电化学蚀刻 机理 双电层电容 1 前言 电解加工（ECM）、电化学光整加工(EP)、 电化学蚀刻(EMM)都是利用金属阳极电化学 溶解原理来去除材料的制造技术。电解加工是在上世纪五十年代末发展起来的，具有许多独 特的优点,如无工具损耗、与材料硬度无关、生产率高、无加工应力、可加工三维复杂形状 等。现已成为航空航天制造业中 一种关键技术，还在兵器、汽车、医疗器材、电子、模具等行业中得到了许多应用[1][2]。传 统的直流电解加工 （DECM）一直以来并不被认为是一种高精度的加工方法 （加工一般三维表 面成型精度为 0.20∼0.50mm，孔加工为±0.025∼±0.05mm）。目前电解加工正趋于采用高频窄 脉冲电源（PECM）实现高精度（尺寸精度小于5 μm，表面粗糙度Ra0.03 μm）、小间隙（10-50 μm）加工[3]，并朝着微细化方向发展；PECM 的出现给电解加工带来了一个飞跃，加工质量 大幅度提高。主要是因为：PECM 在脉冲的间隙期间可以对电解产物进行冲刷，降低温度， 还可以产生脉冲压力波，使电解液产生搅动，从而均匀流场，减少死水区和空穴现象等，这 使得PECM 可以稳定在较小间隙进行加工，从而提高加工质量。另外在PECM 中还发现一些试 验现象，例如电流效率-电流密度曲线右移，发现它能提高加工集中蚀除率，可以提高加工 精度，但是无法从理论上给与解释。 电化学光整(EP)的发明要追溯到1930 年Jacquet 的专利[4] ，初期的EP 是采用直流电源、 酸性电解液、静液加工的光整加工工艺，只能将工件的原始表面粗糙度降低1-2 级，难以满 足更高的表面质量要求。目前的EP 采用脉冲电源、流动的非线性电解液，不但可以大幅度 改善表面质量而且可以显著提高生产效率。EP 不同于ECM 主要是它的金属去除量小，因此 要求的电流密度小，特别是要达到镜面效果时更要求小电流，另外EP 的工具阴极是不进给 的。 电化学蚀刻(EMM) 的基本原理是在金属表面适当的地方涂上一层不导电的保护膜，对 保护膜以外的地方用电化学的方法加工。它是近代发展起来的一种用来代替化学蚀刻的加工 方法。相对于化学蚀刻，它的优点是环保，因为它一般采用中性电解液 （如NaCO3 等），而 不是有害的化学试剂。另外EMM 的加工速度大大提高，可以加工化学方法难腐蚀的高温合 金、不锈钢等材料[4] 。 PECM、EP 和EMM 采用相同的原理进行工作，而且都通过采用脉冲电源提高各自的加工 质量，说明这三种工艺存在很多共性的东西。本文建立了一个基于电容的电化学加工模型， 从电容的角度来统一解释这三种工艺的机理。 ∗本课题得到中国高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号20020287004 ）资助。 1 2 电化学加工中电容模型的建立 将电化学加工体系用如图 1 的电容模型来表示。 CC CA R 图1 电化学加工电容模型 其中： C 阴极双电层电容 R电解液电阻 C C