电子背散射衍射_EBSD_及其在材料研究中的应用.pdfVIP

第 35 卷 第 3 期 稀有金属材料与工程 Vol.35, No.3 2006 年 3 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING March 2006 电子背散射衍射 （EBSD ）及其在材料研究中的应用 陈绍楷，李晴宇，苗 壮，许 飞 (西北有色金属研究院，陕西 西安 710016) 摘 要：论述了电子背散射衍射（EBSD ）的形成原理、花样包含的物理意义，并给出了 EBSD 在测定晶体取向、织构、 取向关系、物相鉴定、应变分布、晶格常数及晶界性质研究等方面的应用实例。 关键词：电子背散射衍射（EBSD ）；晶体取向；织构 中图法分类号：TG115.23 文献标识码：A 文章编号：1002-185X(2006)03-0500-05 与接收屏的交截线，如图 1 所示。一幅电子背散射衍 1 前 言 射图称为一张电子背散射衍射花样（EBSP ）。一张 电子背散射衍射（EBSD ）的历史应追朔至 1928 EBSP 往往包含多根菊池带。接收屏接收到的 EBSP 年 Kikuchi 在透射电镜中观察到的条带状衍射花样， 经 CCD 数码相机数字化后传送至计算机进行标定与 即菊池线，不过这种菊池线是透射电子形成的。直到 计算。值得指出的是，EBSP 来自于样品表面约几十 1954 年，Alam ，Blackman 和 Pashley 同样利用透射电 纳米深度的一个薄层。更深处的电子尽管也可能发生 镜，用胶片记录了解理 LiF ，KI ，NaCl ，PbS2 晶体的 布拉格衍射，但在进一步离开样品表面的过程中可能 大角度菊池花样，这是第一次严格意义上的电子背散 再次被原子散射而改变运动方向，最终成为 EBSP 的 射衍射。1973 年，Venables 和 Harland 在扫描电镜上 背底。因此，电子背散射衍射是一种表面分析手段。 用电子背散射衍射花样对材料进行晶体学研究，开辟 其次，样品之所以倾斜 70o 左右是因为倾斜角越大， 了 EBSD 在材料科学方面的应用。20 世纪 80 年代后 背散射电子越多，形成的 EBSP 花样越强。但过大的 期，Dingley 使用荧光屏和电视相机接收与采集电子背 倾斜角会导致电子束在样品表面定位不准，降低在样 散射衍射花样。20 世纪 90 年代，实现了花样的自动 品表面的空间分辨率等负面效果，故现在的 EBSD 都 标定。随着数码相机、计算机和软件的快速发展，现 将样品倾斜 70o 左右。 在的商品 EBSD 实现了从花样的接收、采集到标定完 ELECTRON 全自动化[1] 。每秒能获得多于 100 帧的菊池花样及标 Electron beam BEAM 定结果，广泛用于地质、微电子学、材料科学等方面。 2 EBSD 的形成原理及其包含的物理含义 电子背散射衍射仪一般安装在扫描电镜或电子探 针上。样品表面与水平面呈 70o 左右。当入射电子束 进入样品后，会受到样品内原子的散射，其中有相当 Kikuchi band 部分的电子因散射角大逃出样品表面，这部分电子称 Phospor screen 为背散射电子。背散射电子在离开样品的过程中与样 品某晶面族满足