矩形光栅的衍射特性.pdfVIP

维普资讯 [{^6／ 第 28卷第 5期 电 一 职 Vo1．28No 5 l999年 5月 ACTA PHOTONICA SINICA M aY 1999 矩形光栅 的衍射特性 王 鹏 徐毓光 余勤跃 顾铮无 赖 芳 良 —] 币国辑季蘸]E 光学精密机械研究所，上海201800) 摘 要 末文采用严格的一阶耦合波理论 ，对矩形光栅 的衍射特性进行 j分析 ，给 出jTE 模和 TM 模 同时具有很 高的衍射效率时的光栅 结构 ．计 算表明：只有在满足 Bragg衍 射条 件时 ，TE摸 和 TM 模 才能达 到峰值衍射效率 ．为 j验证 理论 与编制程 序的正确 性 ，将计 算结果与 已有的资料进行 j比较 ． 关键词 光栅 ；耦合波理论 ；光栅周期 — — — — — ～ 0引言— — 一 — — — — — — — — — 一 硝 ；衍射效率；沟槽深度 严格 的光栅分析理论 可以分成两大范畴：积 角 照射到一矩形光栅上 ，入射光 的波矢和单位 分方法和微分方法，积分方法比较适合于分析连 偏振矢量 可以用下面两式表示 续面形 (面形可 用单一连续函数表示)光栅 的衍 】=^奎+ ^ +^i = ^l(sinacos4 射特性 ，而微分方法 比较适合于分析不连续 、离散 +sinasing --COSff2) (1) 面形(面形要用分段函数表示)光栅的衍射特性 ． “一 “ 至+ “ + “ 一 (cosacos0cos# 相对来讲 ，积分方法要 比微分方法更多地涉及数 sin0sin#)2r+ (cos如osasinZ? 学工具 ．在微分方法 中光栅的模式理论和耦 合 +sinOcosS)3,-- (cos0sina) (2) 波理论是最常用 ．Moharam和Gaylord最早将严 格的二阶耦合坡理论 (中间推导没有近似或忽略) 应用于平面光栅 ，严格的耦合渡理论 固其直观 、 易于计算、准确等特点而被人们所采用 ．但二阶 耦合波理论对于 TE模和 TM 模要采用不 同的公 式进行计算 ，而一阶耦 合波理论对于 TE模和 TM 模可采用相 同的公式 ，因此一阶耦合波理论 T／ 要 比二阶耦合渡理论更有意义 ．M．C．Gupta曾 采用光栅 的模式理论对矩形光栅进行过分析 ，但 是光栅的周期和沟槽深度都 比较小 ，Moharam和 图 l 矩形光栅 的光路示意 图 Gaylord曾采用一阶耦合波方法对平面光栅的衍 Fig．1 Geometryofarectangulargrating 射特 性进行了分析 ．本文将一阶耦 合渡理论应 其中a为入射面与 轴方 向的夹角 ． =^ — — 一 用到蚀刻光栅，对矩形光栅的衍射特 陆进行详细 √e=(2n)√E， 和 ^分别为真空中的波数 的分析 ．这是 因为不管多么复杂面形的光栅 ，都 和渡长，E_为入射区的介 电常数，透射区的介 电常 可 分成多层矩形光栅进行分析 ．所姒矩形光栅 数为 e．光栅区的介 电常