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透射电镜的基本原理及使用 图1 放射电子显微镜基本结构原理图 （注：除上述部分外，电镜还包括必须的冷却和真空系统） 图2 电镜和光镜原理对比图 应用举例： JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明 一、开机程序 首先打开房间空调，冷却循环水房温度21度，操作室25度 开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下POWER键 启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮 用钥匙启动主机，从OFF档位旋到START位，松开后钥匙自动回到ON位置。仪器自动抽真空，等待约40分钟。 直至DP绿灯亮，HIGH绿灯亮，READY绿灯亮（若不亮的话，将LENS LIGHT打至ON档位）。 二、电子枪合轴（1-3合轴） 确认READY绿灯亮 把样品拨出，物镜光栏拨出至0档位 加高压：按下HT键后，依次按下40-60-80-100KV键，并注意观察束流表是否正常，每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV就行了。 加灯丝：将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置 一般在SCAN（5300倍）条件下调节，调节CONDENSER钮，得到光斑。 SPOT SIZE调到3档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用左右ALIGNMENT：TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。 SPOT SIZE调到1档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用GUN ALIGNMENT：TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。 再重复6、7步骤，使束流不偏离中心。 三、调灯丝相（每次开机都需要检查） 在SCAN模式下，SPOT SIZE调到1档 将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。 缓慢旋转GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。 然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影），并锁定该位置。 四、粗对焦（该步很重要） 关灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（2档） 开灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网） 找到样品，并选中一目标为参照 将IMAGE WOBBLER打至ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。 五、聚光镜对中调节 1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置， 2、在SCAN模式，SPOT SIZE 1档情况下，将COND ALIGNMENT打到ON，然后下面一WOBBLER键打到X，以调节光斑重合，同样的方法进行Y轴对中调节，调节完毕之后打到中间OFF档。 3、将IMAGE WOBBLER键打到ON，调节IMAGE WOBBLER A、B旋钮至重合。 六、电流中心调节（此步调节有一定的难度） 1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于5万倍 2、用目镜观察，聚焦，找准参照物，用FOCUS调焦至最清晰 3、快速反复转动FOCUS旋钮（以最清晰位置为中心前后旋转），此时观察参照物样品的情况，如有放大缩小的情况（看到样品是以某点为中心在旋转）那就是正常的，若是样品有左右或者上下移动的现象，就需要调节ALIGNMENT的大旋钮，TILT钮直至正常。 七、电压中心调节 1、在第六步的基础上，放大倍数（大于5万倍） 2、找到一参照物，调焦至最清晰 3、HV WOBBLER置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，反之，若参照物有漂移，则用左右ALIGNMENT ：TILT调节 八、光栏的调节 1、聚光镜光栏调节：判断光栏是否在中间位置，调节CONDENSER时，光斑不在中间，放大时会有很大阴影（电子束被东西挡住），移动样品时也没有改变，此时可以断定是光栏位置不正确，通过调节光栏上两个旋钮，使光栏回到中心位置。 2、物镜光栏调节：打开FUNCTION：SADIFF（控制台D区，与SCAN一排的一个按钮），调节SA/HD DIFFRACTION：CAMERA LENGTH（控制台B区）和物镜光栏上的两个旋钮，使得中间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。 九、聚光镜像散调节 在没有放入样品的情况下：插入聚光镜光栏（2档），SPOT SIZE 调至3档，调节CONDENSER钮至光斑最小最亮，再调节COND STIGMATOR X、Y旋钮（控制台F区），使得光斑变得最圆，即完成聚光镜像散调节。 十、物镜像散调节（用于高倍下观察样品的调节） 1、在完成以上调节，即确认仪器对