玻璃表面的透明半导体薄膜.pdf

　综 　　述 　 玻璃表面的透明半导体薄膜 王承遇 ,陶　瑛 ,王 　波 (大连轻工业学院　玻璃及无机新材料研究所 ,辽宁 　大连 11600 1) 摘要 :对玻璃表面透明半导体薄膜的组成 、纳米结构 、性质和制造方法进行了综述 , 并探讨了研究和应用的趋势 。 关键词 :半导体薄膜 ;镀膜 ;玻璃表面 ( ) 中图分类号 : TQ171. 73 文献标识码 :A 文章编号 :1000 - 2871 1999 04 - 0050 - 07 The Transparent Semiconducting Fil m on Glass Surface WA N G Chengy u , TA O Yi ng , WA N G B o ( Institute of Glass and Inorganic New Materials ,Dalian Institute of Light Industry ,Dalian 11600 1 ,China) Abstract : The compo sition , nano st ruct ures , p roperties , fabrication technique of t ransp arent semiconducting film on glass surface are reviewed in f his p aper . The t rend of application and research develop ment of t ransp arent semiconducting film are discussed as well . Key words :Semiconducting film ; 　Coating ; 　Glass surface 1 　导言 ( ) ( 近年来随着平面显示器 、太阳能电池 、电致变色镜 elect rochromic mirror s 、热镜 heat ) ( ) mirror s 、智能窗 smart window 和薄膜电池的发展 ,需要透明的导电材料 ,于是玻璃表面透 明半导体薄膜得到广泛应用 ,其结构 、性能和制备的研究 ,引起人们的重视 。 ( 玻璃表面透明半导体薄膜 ,通常指可见光透过率 60 %～90 % 、面电阻 方块电阻 sheet ) Ω - 1 (Ω ) Ω - 1 resist ance 10～100000 □ per unit area 。当膜厚 200nm 时 ,面电阻 10 □ 相当于电 (Ω ) - 1 〔1〕 ( ) 〔2 〕 导率 5000 cm ,有的文献上称其为导电膜 conductive coating ,但其电导率仍属于 Ω - 1 半导体范围内,至于面电阻为 100000