表面等离子体调制的纳米孔径垂直腔面发射激光器.pdfVIP

第 56 卷 第 10 期 2007 年 10 月 物 　理 　学 　报 Vol. 56 ,No. 10 ,October ,2007 ( ) 10003290200756 10 582704 ACTA PHYSICA SINICA 2007 Chin. Phys. Soc. 表面等离子体调制的纳米孔径垂直 腔面发射激光器 高建霞 　宋国峰 　郭宝山 　甘巧强 　陈良惠 ( 中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室 , 北京　100083) ( ) 2007 年 1 月 8 日收到;2007 年 2 月 27 日收到修改稿 　　在普通 850 nm 垂直腔面发射激光器基础上制备了表面等离子体调制的纳米孔径垂直腔面发射激光器. 当小孔 直径为 200 nm ,周围光栅的周期为 400 nm 时 ,在 15 mA 驱动电流下最大输出光功率达到了 03 mW. 介绍了该器件的 制备工艺 ,并从实验和理论两方面分析了周期性光栅结构对光束的约束作用. 关键词 : 表面等离子体 , 纳米孔径垂直腔面激光器 , 输出光功率 , 远场特性 PACC : 4260D , 4255P 波产生持续的共振振荡 ,表面电荷振子与光波电磁 1 引 言 场之间的共振作用形成了 SP. 在光学领域 ,SP 可以 通过亚波长结构用来汇聚和导引光波 ,从而起到增 传统的光存储技术由于受到光学衍射的限制 , 强透射的作用. 根据文献[5 ,6 ]可知周期性结构的金 能达到的存储密度有限 , 因而利用近场光存储实现 属微小孔可显著地提高输出功率. 通过对金属表面 超高密度信息存储已经得到越来越多研究者的重 的纳米结构调制 ,人们就能对这种沿表面传播的光 视[1 ,2 ] . 高质量近场光源是一个重要的研究方向. 波进行控制 ,从而衍生出表面等离子体光子能带结 [3 ] [7 ] 1999 年 Partovi 等人利用 980 nm 的激光器制备出 构器件、光波导、光开关 等 ,这些器件和技术在光 ( ) 电集成方面具有巨大的潜力. 采用表面等离子体结 了第一个微小孔激光光源 VSAL . 同年 ,Shinada 等 [4 ] 构调制的纳米光电子器件将为近场光学的研究和应 人 利用垂直腔面发射激光器制备出了微小孔激光 ( ) 用开辟更广阔的前景. 器 NAVCSEL . 虽然测量得到的功率密度还不足以 进行数据的存储 ,但是这项技术和边发射激光器相 本文作者针对 VSAL 已经进行了比较深入的研 比有更好的前景,具有更小的尺寸. 另外 ,对于垂直 究[8 ,9 ] . 由于垂直腔面发射激光器具有一些独特的性 腔面发射激光器由于它具有对称光输出模式 ,从而