质量流量计简述.docVIP

1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？ 质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。 ??? 质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。 2.? 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？ ???? 气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。 ???? 对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,? 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。 3.? 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器 ? ???? 一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。 4.? 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？ 4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。 对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。 4.2 测量控制的自动化 质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,? 模拟的MFC/MFM 输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM 还配有RS232 或RS485 数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接,? 进行自动控制。 4.3 精确地定量控制流量 质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。 4.4 适用范围宽 ?有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;? 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL)；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 SCCM，最大流量范围可达0～300SLM。最新的D07-60A/D07-60D 型质量流量计产品的流量量程可达 2000 SLM。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到应用。 4.5 准确度高﹑重复性好 ?????? 我们的产品准确度可达±2%F.S.或±1%F.S.，重复性为±0.2%F.S. 。 4.6 体积小巧﹑安装方便﹑操作简单 4.7 技术先进，符合发展潮流 5. 质量流量计/质量流量控制器的主要缺点有哪些？ 5.1? 价格较高。 ?对于用惯了转子流量计的用户来说，质量流量计的确显得贵一些。 5.2 维护费用较高 ?原则上讲，对于计量产品应当定期标定；产品的故障率尽管不同品牌不尽相同，但出现故障的可能都存在，因而一般是需要一些标定﹑维修费用的。由于各生产厂家收费政策不同﹑用户使用情况不同﹑产品故障率也不一样，因而用户的维护费支出可能有差别。 5.3 生产难度较大 质量流量计/质量流量控制器是高技术产品，其生产难度是相当大的，这也是多年来我国 尝试开发者很多﹑真正成功者极少的原因之一。由于其生产难度大，品质保证难度也大，因而用户在选购时要小心谨慎，避免带来无尽的烦恼。 5.4? 某些情况下可能造成气路堵塞 当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成气路堵塞。对有的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。有关问题我们在以下会给出