电化学法制备p型Cu2O半导体薄膜及其性能的表征.pdfVIP

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No.3 第45卷第3期 西 安 交通 大 学 学 报 V01.45 XI’AN UNIVERSITYMar.2011 2011年3月 JOURNAL()FJIA()T()NG 电化学法制备P型Cu20半导体薄膜及其性能的表征 燕子鹏1’2,蔡舒1,武卫兵2 (1.天津大学材料科学与工程学院,300072,天津;2.济南大学材料科学与T程学院,250022.济南) 摘要:采用电化学沉积方法在铟锡氧化物(IT())导电玻璃上沉积出Cu20薄膜的基础上,研究了 络合剂种类、沉积电位和溶液pH值对Cu20薄膜结构和性能的影响.结果表明:在以乳酸为络合 剂的电解液中沉积出的Cu2()薄膜的晶粒尺寸比以三乙醇胺为络合剂的电解液中沉积出的薄膜晶 粒尺寸大,结晶度好,致密度更高;在合有乳酸络合荆的溶液中,随沉积电位的提高,薄膜成核密度 增大,晶粒尺寸减小,致密度提高;随pH值增加,制备的薄膜晶向由沿(200)取向变为沿(111)取 eV. 性能,禁带宽度为1.93 关键词:氧化亚铜;电化学沉积;薄膜 中图分类号:064文献标志码:A文章编号:0253—987X(2011)03—0121-04 ElectrochemicalandCharacterizationof Deposition of 0Film Cu2 PropertiesP—Type YAN Shul,WU Zipen91~,CAI Weibin92 of Scienceand 2.Schoolof (1..SchoolMaterial 300072,Chinat Engineering,TianjinUniversity,Tianjin and of 250022。China) Material.Science Jinan。jinan Engineering,University were onIT()substrates. Abstract:Theoxide(Cu2())filmselectrochemicallydeposited cuprous Theeffectsofcoordination and valuesonthestructureand reagents,depositionpotentialspH theelectro— of examined.TheresultsshowthatCu2()filmsfrom propertiesCu2()were deposited withlacticacidasthecoordinationhave size,better and

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