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No.3
第45卷第3期 西 安 交通 大 学 学 报 V01.45
XI’AN UNIVERSITYMar.2011
2011年3月 JOURNAL()FJIA()T()NG
电化学法制备P型Cu20半导体薄膜及其性能的表征
燕子鹏1’2,蔡舒1,武卫兵2
(1.天津大学材料科学与工程学院,300072,天津;2.济南大学材料科学与T程学院,250022.济南)
摘要:采用电化学沉积方法在铟锡氧化物(IT())导电玻璃上沉积出Cu20薄膜的基础上,研究了
络合剂种类、沉积电位和溶液pH值对Cu20薄膜结构和性能的影响.结果表明:在以乳酸为络合
剂的电解液中沉积出的Cu2()薄膜的晶粒尺寸比以三乙醇胺为络合剂的电解液中沉积出的薄膜晶
粒尺寸大,结晶度好,致密度更高;在合有乳酸络合荆的溶液中,随沉积电位的提高,薄膜成核密度
增大,晶粒尺寸减小,致密度提高;随pH值增加,制备的薄膜晶向由沿(200)取向变为沿(111)取
eV.
性能,禁带宽度为1.93
关键词:氧化亚铜;电化学沉积;薄膜
中图分类号:064文献标志码:A文章编号:0253—987X(2011)03—0121-04
ElectrochemicalandCharacterizationof
Deposition
of 0Film
Cu2
PropertiesP—Type
YAN Shul,WU
Zipen91~,CAI Weibin92
of Scienceand 2.Schoolof
(1..SchoolMaterial 300072,Chinat
Engineering,TianjinUniversity,Tianjin
and of 250022。China)
Material.Science Jinan。jinan
Engineering,University
were onIT()substrates.
Abstract:Theoxide(Cu2())filmselectrochemicallydeposited
cuprous
Theeffectsofcoordination and valuesonthestructureand
reagents,depositionpotentialspH
theelectro—
of examined.TheresultsshowthatCu2()filmsfrom
propertiesCu2()were deposited
withlacticacidasthecoordinationhave size,better and
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