マイクロナノバブルによる環境対応型半導体ウエハ洗浄装 ….PDF

【株式会社ひたちなかテクノセンター】 マイクロナノバブルによる環境対応型半導体ウエハ洗浄装置の開発 集積回路の製造における洗浄工程において環境負荷の大きい酸やアルカリ、有機溶剤などの薬液の使用量を抑えたマイクロナノバブ ルによる新洗浄技術を利用した半導体ウエハ洗浄装置の開発 プロジェクトの概要 ［従 来 技 術］ ［新 技 術］ 大型の容器を使用したウエハの洗浄が主体であり、環境負荷の大き 枚様式洗浄法を利用するとともにマイクロナノバブルによる新洗浄技術 い薬液を大量に使用するため大規模な廃液処理設備が必要である。 を導入するため、環境負荷が小さく廃液処理設備も小規模で済む。 ［今年度の研究達成状況］ • 半導体仕様の金属汚染のないオゾンマイロバブル装置を搭載した試作洗浄装置で半導体回路形成工程の実ウエハ上のエッチング生成 物、インプラ変質有機膜を含んだ有機膜の除去が確認された。 • 高濃度オゾン水生成方法と高温用バブル発生ノズルの開発により、オゾンマイクロバブルの有機膜剥離能力向上の効果が確認された。 • 簡易実験機による弱アルカリ系溶液中での空気バブルによりウエハ上でのトランジスタなどの素子形成工程に使用される有機膜の除去が 確認された。 • 電子スピン共鳴法を利用してオゾンマイクロナノバブルによる有機膜の除去メカニズムを検討した結果、マイクロバブルが存在することで オゾンが促進的に分解されて酸化力が強い水酸基ラジカルが発生していることを確認した。 事業化の状況 試作洗浄装置を使用して各メーカから のサンプル提供により実証実験と評価 マイクロナノクリーナ （２０１３年１月から開始） （マイクロバブル装置搭載） 市場参入分野 装置販売予定と戦略 【株式会社ひたちなかテクノセンター】 鍛造自動車部品の低コスト化を実現するプレス加工・厚板成形技術の開発 カーエアコン用コンプレッサの電磁クラッチを構成する「フィールドコアコイルリング」を対象としたプレス加工の高度化技術に関する開発 であり、プレス工数の大幅削減と切削仕上げ加工を不要とすることで、「材料歩留りの向上」、「低コスト化」、「短納期化」を実現する。 プロジェクトの概要 ［従 来 技 術］ ［新 技 術］ ・従来は鍛造＋切削で製作されていた。鍛造切削では、焼鈍、ショッ ・厚板成形技術開発のため、工程技術の開発 トブラスト、ボンデ処理の前処理と鍛造後の切削工程が必要で、 を行い、高剛性高精密プレス装置を用い、高 工程が長く、製造コストを下げることが難しかった。また納期対応 剛性高耐久金型を開発し、厚板成形プレスを にも問題があった。 検討して低コストで、短い工程で製品化を実現 する。 ［今年度の研究達成状況］ ・工程技術の開発により、トランスファープレス６工程で製作できる目途が立った。 ・新しい工程技術を実現するために必要な、プレス装置を導入することができた。 ・新しい工程技術とプレス装置を用いる金型の開発ができた。 事業化の状況 ・新技術で出来る形状の新規性、進歩性について特許出願が可能か検討中｡ ・量産化工程の構築を行う(H２４年度末)。 ・サンプルを製作し、コンプレッサメーカへサンプル提出する(H２５年度前半)。