调制磁场清除柱形等离子体发生器中的尘埃颗粒！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 . %$$. ， ， ， KL+ (. JL ( M59*5N8 %$$. （ ） $$$3’%1$A%$$.A. $ A$#3$1 BCDB EFGHICB HIJICB !%$$. CO69 ( EO8, ( HL ( 调制磁场清除柱形等离子体发生器中的尘埃颗粒! ! 奚衍斌 张 宇 王晓钢 刘 悦 余 虹 姜东光 （大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 #$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$’ % %% %$$ 利用流体模型，计算了调制磁场作用下，圆柱形等离子体发生器中电子、离子及尘埃的运动情况 数值模拟结 ( 果表明，尘埃颗粒随着调制磁场频率的改变，产生两种不同的运动方式： 运动和除尘运动 解释了 运动产 )*+,- ( )*+,- 生的机理，并提出了柱形等离子体发生器中利用调制磁场清除尘埃颗粒的方法( 关键词：尘埃颗粒，调制磁场 ： ， ， !## .%%. .%#. .%$ 度不相等（因为尘埃颗粒也带有电荷）这个空间电 ( ? 引 言 荷场将驱动尘埃颗粒的运动( 本文考虑的是随时间变化的调制磁场的情况( 尘埃等离子体是一种尘埃颗粒悬浮其中的电离 在等离子体发生器中，本文将鞘层的影响简化 气体，一般由电子、离子和带电尘埃颗粒组成，它广 地考虑为垂直于极板平面的电场作用和重力相抵 泛存在于星际空间、电离层以及等离子体辅助加工 消，保持尘埃颗粒的水平悬浮位置 如果在圆柱形等 ( ［— ］ 设备中 / ( 近年来随着等离子体材料加工技术的 离子体发生器的下方水平放置一个调制场线圈（或 发展，人们已经认识到尘埃颗粒的污染已经成为诸 者在两个极板外侧同时放置），在线圈中电流变化 如刻蚀、溅射、气相沉积等处理工艺中的主要问题( 时，将在等离子体发生器的轴向上施加一个调制磁 因此，清除等离子体发生器中的尘埃颗粒已经成为 场( 当这个磁场增加或者减弱时，会产生一个环向涡 改进低气压等离子体工业