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成功研制太赫兹超导探测器平台并实现稳定运行.PDF
成功研制太赫兹超导探测器平台并实现稳定运行
太赫兹波段是继红外和毫米波之后最新发展的、其它波段不可替代的观测窗
口,在当代天文学前沿研究领域-宇宙生命环境和高红移早期宇宙研究中具有特
别重要的作用。在太赫兹波段的宇宙学和天体物理观测研究中,低温超导探测器
由于具有无可比拟的超高灵敏度,正发挥越来越重要的作用。位于南极的美国
BICEP2 望远镜正是采用了超导探测器,使探测效率大幅提高,首次实现“大爆炸”
引力波探测。
中科院紫金山天文台毫米波和亚毫米波技术实验室于2012 年成功研制太赫
兹超导探测器平台,实现了太赫兹超导探测器芯片的自主制备,进而具备了从太
赫兹超导探测器设计、芯片制备到系统集成的完整能力。太赫兹超导探测器平台
包括超导及金属薄膜磁控溅射系统、绝缘层磁控溅射系统以及掩膜对准光刻机等
核心装置,自2012 年通过验收以来,优化了超导薄膜及芯片制备工艺,实现了
近两年的稳定运行。目前,该平台已能制备高质量的Nb 、Ti、Al 等低温超导薄
膜,超导SIS 混频器、超导TES 探测器以及超导MKIDs 探测器等芯片。太赫兹
超导探测器平台的成功研制为国家基金委重大科研仪器研制专项、南极天文台太
赫兹望远镜计划、以及载人航天工程2 米多功能光学设施的太赫兹模块等打下关
键技术基础。
图 1,太赫兹超导探测器平台(左)、制备超导隧道
结芯片(右上)和不同面积 Nb 超导隧道结 I-V 特性
(右下,与国际同类芯片性能相当)。
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