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制备与结构
第 卷 第 期 电 子 科 学 学 刊
年 月
极 激 激 关 进行 研
双 势至 隧道 结 的制 备与结 构
结 的制备通 常 以洁 净 的载 玻 片 约 内 为基底 , 采用真 空镀膜 的方法 工作真
, ,
一 一
一
空度 一 进 行 制 备前要对载玻 片按 真 空镀膜 工 艺进 行清洗 对 于
一 , , ,
, 结 底 电极 厚约 顶 极 约 底 极 近 的 一
其 膜 电 厚 与 电 接 第 栅
。
厚约 , 而第二层 厚 左右 由 膜通过 一 定时 间的 自然氧化而
。
生成 通过对该结发光 特性 的测试 , 发现其发光亮度较 同等 电压 下单势垒 人 结 明显要强 ,
。
但其 发光 仍存在 着 衰 减过程 分析认 为这 是 由于底 电极
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