纳米器件制备的新方法!!微接触印刷术.PDFVIP

化学通报 年 第 期 $ +$ kmm P P l+$l L@ GGG :LFM9E;IM?A ;A 纳米器件制备的新方法!! 微接触印刷术 潘力佳 何平笙 中国科学技术大学高分子科学与工程系 合肥 $%$’( # 摘 要 微接触 印刷术是一种纳米器件制备的新方法 能在金 银 硅片 陶瓷等基材表面 印刷 出纳 ) 0 0 0 米 微米量级的精细结构 印制导 电高分子微 电路 以及制作三维结构微制 品 该方法精确重复 工艺简 - ) ) * ) 单 对实验室条件要求也不高 在微 电子学 超微机械加工等超微器件制备 中有很好 的应用前景 ) ) 0 * 关键词 微接触 印刷术 自组装膜 微模塑 聚二 甲基硅氧烷 # ( P 89:;:=?:@;9=9=A BCD 9E?=FGHIJFKFH@FJF:L=HAI=M9:;N?O;9:?9= Q9E ) ) ) %- REFJ@?F;==?=;M9:;E;R:R;FE=SR SA T9?=J:F;?M9:?HE@;JR:F J9MF=E9=E;R:- P R;FEUL9EMFLJ9EF?EI:?;;IR9==;M?HH?O;?;I:=J99=E?=J;?=ENF;@?F;=E?::R;?F- P - ) ) HI?=J;F@F?HI QL?EFVF=E9KF?@@H9:?9=E9=LFN?O;9:?9=NM9:;FHF:;9:M9:;M?:L9=F;I M9:; P @9:?@@?;?RE?=JLF;M9:;JFK9:FE ) - ) - ) WXY Z[5\3 89:;:=?: @;9=9=A TFHN?EEFMOHFJ M=H?IF; 89:;MHJ9=A DHIJ9MFLIH- E9HV?=F 简便 可精确重复的印刷术 曾为人类文明作出了重大贡献 随着现代制造技术进入微米乃至纳 0 * 米 的亚微观范畴 类似 的微观 图纹印刷术在微 电子学 超微机械加工 微观化学反应和生物等研究 ) 0 0 领域仍有很大的吸引力]+^ %_ 最近五年多来 以美 国哈佛大学 教授研究组为主的多个研 * ) ‘L9FE9JFE 究集体开创的所谓 微接触 印刷术 简称 就是纳米器件制备技术的一 a b# )