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2017-06-18 发布于福建
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现代扫描电镜的发展及其在材料科学中的应用

综述与评论现代扫描电镜的发展及其在材料科学中的应用吴立新，陈方玉（武钢技术中心湖北武汉 !##$# ）摘要：介绍了扫描电子显微镜的工作原理和特点，特别是近几年发展起来的环境扫描电镜（ %’ %( ）及其附带分析部件如能谱仪、装置等的原理、特点和功能，并结合钢铁材料研究展望了其应用 %)* 前景。关键词：环境扫描电镜；能谱仪；装置 %)* 中图分类号： 1 文献标识码：文章编号：（） +,--. /0- . / 2 -##$ 3 !4 - 0##. #5 3 ##5 3 #. !#$%’() %* +%,-( ./+ 0(, 1)2 3$140)1%( 1( +0)-10$ .41(4 ， 67 89’:9; =% ?@;A’BC （，，） +DE +EFD;GHGAB E;IEJ GK 6LM 6CD@; !##$# D9;@ ： 352)-04) +DE NJEOE;I N@NEJ 9;IJGPCFEO IDE Q@O9F NJ9;F9NHE @;P FD@J@FIEJ9OI9FO GK IDE F@;;9;A ， %HEFIJG; (9FJGOFGNE EONEF9@HHB GK IDE %;R9JG;SE;I@H %( @;P 9IO @FFEOOGJ9EO OCFD @O %* @;P %)’ ， * EIF / @;P @HOG P9OFCOOEO IDE @NNH9F@I9G; GK IDE SGPEJ; %( 9; IDE S@IEJ9@H OF9E;FE / ：；； 678%-,2 E;R9JG;SE;I@H %( E;EJAB P9ONEJO9RE T 3 J@B ONEFIJGSEIJB EHEFIJG; Q@FUOF@IIEJ P9KKJ@FI9G; 等等），将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率 - 扫描电镜原理地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的［］扫描电镜（，简写 - F@;;9;A %HEFIJG; (9FJGOFGNE 扫描图像。如果将探测器接收到的信号进行数字为%( ）是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技化处理即转变成数字信号，就可以由计算机做进一术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制步的处理和存储。技术。成像是采用二次电子或背散射电子等工作