基于微接触印刷的ZnO紫外传感器特性研究.pdfVIP

50 传感器与微系统(σTra阻ns叫du山ce仅r and M陀町ros巧y严川s剑舱t怆巳m Techno 2014 年第33 卷第2 期 基于微接触印刷的 ZnO 紫外传感器特性研究* 孙永娇12 ，高翻琴l 气赵振廷l ， 2 ，张文栋1 ， 2 ，胡 杰1 ， 2 (1.太原理工大学微纳系统研究中心，山西太原 030024; 2. 太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室，山西太原 030(24) 摘 要:采用微接触印刷技术和水热生长方法在硅基底上实现了 ZnO 种子层的图案化转移与纳米线阵 列的可控制备。利用 X 射线衍射(XRD) 、能量色散谱(EDS) 和扫描电子显微镜(SEM) 等测试手段对制备 的 ZnO 纳米线晶体结构、化学组分以及表面形貌进行了表征，并对制备的 ZnO 纳米线传感器进行了紫外 特性测试。测试结果表明:随着紫外光强度的增加，传感器的光暗电流比和光响应度也随之增加。当紫外 传感器偏压在4.5V 时，其光暗电流比为80.8 ，响应度可达4.05 A1W。 关键词:微接触印刷;水热法; ZnO 纳米线阵列;紫外传感器 中图分类号; TP305 文献标识码;A 文章编号; 1000-9787(2014)02-0050-04 Characteristics study of ZnO ultraviolet sensor based on microcontact printing * 1 1 1 1 1 SUN Yong-jiao ,2 , GAO Fan_qin ,2 , ZHAO Zhen-ting ,2 , ZHANG Wen-dong ,2 , HU Jie ,2 ( 1. Micro/Nano System ωearch Center ,Taiyuan University of Technolo霄，Taiyuan 0筑)()24 ,china ; 2. Key Laboratory of Advanced Transducers and IntelUgent Control System ,Ministry or Edu国tion ， Tai归an University of Technolo缸，Taiyuan 030024 ，创ina) Abstract; Microcontact printing technology is used to realize pattern transfer of ZnO seed layer and nanowire arrays are synthesized controllably by hydrothennal method on Si substrate. The crystal structure , chemical composition and morphology of ZnO nanowires are characterized with X-ray diffraction ( XRD) ,energy dispersive spectrometer ( EDS) and scanning electron microscopy ( SEM) ,and properties of ultraviolet ( UV) are also tested on the fabricated ZnO nanowire sensor. The measured results show that photocurrent/darkcurrent ratio and optical responsivityare en