微型差动式共焦自聚焦光聚焦探测系统.pdfVIP

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2017-06-21 发布于浙江
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微型差动式共焦自聚焦光聚焦探测系统.pdf

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微型差动式共焦自聚焦光聚焦探测系统

2期谭久彬等：微型差动式共焦自聚焦光聚焦探测系统 203 而产生的差动信号可以较好地反映出物体位移的大 l_{_ () ( ]，(2)小和方向。，z。 s( ) cos( ) 其中r。和r分别代表入射点和出射点的位置坐标，产。和I：分别为人射光线和出射光线在r。和rz处的斜率，Z为透镜棒的长度坐标。光线坐标如图 2所示 F’lg．4 Schematicdiagram ofdifferentialconfocaltechnique with agrin lens． 1：lightsource~2：PBS；3：grin ．．一(r) o lens；4：object~5：BS；6：pinhole1；7：detector1； 8：pinhole2；9：detector 2；10：subtractor；11：focus errorsignal 如果两针孔轴向偏离焦平面的位移分别是+ 。和一U。，则两个探测器聚焦信号为 ’。] I(u，UD)一1h(vxD一0，yD一0，2u+UD)1 I『(2u+UD)／4]l，’ ㈤… 其中h(vxo，o，UD)为系统三维点扩散函数， 27c a 、。一 ’ 1 OyD 一。一。号，，}} c(44’ Fig．2 Raycoordinateingrin lens 一‰一 ((号))，，Il 自聚焦透镜的传输轨迹是一正弦曲线，如图3 其中a为透镜光瞳孔径，则聚焦误差信号 (FES)为所示，其周期(节距)为P—z~／,／X。根据透镜截距 IdIff— I(u，一 UD)一 I(u，UD)一的不同，透镜可以对光线发散、会聚或准直。自聚焦 ({ )＼一透镜的独特特点，使它在光探测系统中，可以非常有效的取代普通透镜。 1{忌U(+UD／2)(1一COS口))f)／10~㈣ — — — — — — 当针孔偏离焦平面一个恰当的位移时，式 (3)给出的即为该情况下检测到的光聚焦信号，为两光强