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摘要
摘 要
ZnO是一种有多种应用前景的光电子材料,它在压电式转换器、表面声波器
件、光波导管、变阻器、透明导电氧化物、自旋功能器件和紫外光发射器等器件
中具有广泛的应用。室温下的禁带宽度为3.37eV,使其成为一种可以覆盖可见光
到紫外光范围的新型发光材料。Al掺杂ZnO透明导电薄膜(AZO),因其具有
优良的光电特性,有望成为继氧化铟锡透明导电薄膜0TO)之后,在紫JIN可见
光范围内具有高导电性的新型半导体材料,具有很强的应用价值。
本文采用溶胶一凝胶辅助水热法方法制备ZnO纳米点阵及AI:ZnO纳米棒阵
列材料,并对其形貌结构和光学性质进行了系统研究,探讨了各种纳米结构形貌
出现的机理和发光起源。主要研究内容与结论如下:
1、采用溶胶一凝胶辅助水热法制备ZnO薄膜,获得了多样化的ZnO纳米点
阵。研究了不同配比和PH对样品形貌和结构的影响。SEM图谱显示,通过调节
PH值,可获得不同形貌的纳米棒阵列结构。同时研究发现,高的PH值更有利于形
成棒状结构。XRD图谱分析结果显示,采用这种技术制备的ZnO纳米结构具有沿
002方向择优取向生长。
2、采用PL光谱和透射光谱系统分析了样品的光学性质.通过对透射光谱的
研究发现,成分配比及溶液中的PH值影响可见光的透射率。通过对透射光谱的
吸收边拟合,发现提高配比成分导致带边吸收向短波方向移动。PL光谱研究表
明,样品在可见光区出现强的发光带,发光峰强度随配比量和PH值增加而增大。
在对可见发光进行高斯拟合时发现,出现强的红光发射光带,分析认为红光发射
来源于Vo缺陷发光。
3、采用溶胶.凝胶辅助水热法制备了舢掺杂的AI:ZnO(AZO)纳米材料,
并获得了单晶结构纳米棒阵列,并且系统地研究了Al掺杂对氧化锌纳米棒形貌和
结构及光学性质的影响。SEM结果显示,AZO具有六角形结构,发现纳米棒的直
径可以通过调节舢含量得到控制。通过对样品的XRD分析发现,AZO薄膜沿C
轴方向择优取向生长,同时Al含量影响薄膜的结晶质量。透射光谱显示,AZO薄
膜的吸收边随Al含量增加向长波长方向移动,出现红移现象。PL测量表明,舢
掺杂导致缺陷发光增强.实验发现,可以通过调节Al含量改变可见光波长和提
高可见光强度,使得AZO透明导电薄膜在可见光区具有重要的应用价值。
关键词:ZnO:A1ZnO:透明导电薄膜;溶胶一凝胶辅助水热法;结构;发光
II
Abstract
ZnOisa of haswide
materials,It
multipleapplicationsoptoelectronic
in conductive
oxides,sensors,spin
applicationpiezoelectrictransducers,transparent
etc—Its诹de of3.37eVatroom
functional emitters
devices,andUV-light bandgap
of
makesbecomeakindofcancoverthevisibletoultraviolet
ZnO range
temperature
novelluminescentmaterials.AIZnO conductive
doped transpare
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