11-2薄膜干涉--等厚干涉.ppt

第十一章 波动光学 第二讲 薄膜干涉—等厚干涉 本讲内容提要 2-0. 上一讲回顾 2-1. 薄膜干涉光程差计算 等厚干涉 等倾干涉 2-2. 等厚干涉 劈尖 牛顿环 2-3.小结 光程和光程差： * P * 2-0.上一讲回顾 分波阵面干涉： p 实 验 装 置 P L 2-1. 薄膜干涉光程差的计算 D C 3 4 E 5 A 1 B 2 加 强 减 弱 P L D C 3 4 E 5 A 1 B 2 想一想： 透射光的光程差Δ45=？ 透射光和反射光的干涉具有怎样的性质？ 半波损失 薄膜干涉分类 A B D r i ? 2 r C d n2 d n1 A B D r i ? 2 r C 等倾干涉 等厚干涉 劈尖 S M 劈尖角 明纹 暗纹 2-2. 等厚干涉(垂直入射, i=0) 劈尖干涉 1)劈棱d=0 为暗纹. （明纹） （暗纹） 3)条纹间距（明纹或暗纹）: 2)相邻明纹(暗纹)间的厚度差: 每一条纹对应劈尖内的一个厚度，当此厚度位置改变时，对应的条纹随之移 动. 4 ）干涉条纹的移动 （明纹） （暗纹） 白光入射 单色光入射 讨论：白光的等厚干涉 测膜厚 干涉膨胀仪 5) 劈尖干涉的应用 详见例一 空气 检验光学元件表面的平整度 测细丝的直径 例1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n =1.46，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 解：由暗纹条件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2k+1）? /2 (k=0,1,2…) 知,第9条暗纹对应于k=8, 得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 M 牛顿环 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T R 光程差 明纹 暗纹 r d 暗环半径 明环半径 4）应用例子:可以用来测量光波波长，用于检测透镜质量，曲率半径等. 1）从反射光中观测，中心点是暗点还是亮点？从透射光中观测，中心点是暗点还是亮点？ 2）属于等厚干涉，条纹间距不等，为什么？ 3）将牛顿环置于 的液体中，条纹如何变？ 工 件 标 准 件 暗环半径 明环半径 讨论 白光入射的牛顿环照片 ▲ 平凸透镜向上移,条纹怎样移动? ▲ 白光入射条纹情况如何？ ▲ 透射光条纹情况如何？ 讨论 S L 例2 如图所示为测量油膜折射率的实验装置 , 在平面玻璃片G上放一油滴，并展开成圆形油膜，在波长 的单色光垂直入射下，从反射光中可观察到油膜所形成的干涉条纹 . 已知玻璃的折射率 问：当油膜中心最高点与玻璃片的上表面相距 时，干涉条纹如何分布？可见明纹的条数及各明纹处膜厚 ? 中心点的明暗程度如何 ? 若油膜展开条纹如何变化? , 油膜的折射率 G 解 1）条纹为同心圆 油膜边缘 明纹 明纹 当油滴展开时，中心出现明暗交替变化,条纹间距变大，条纹数减少.当h→0时,整个区域均匀明亮. 由于 故可观察到四条明纹 . h→0,R →∞ 2-3. 小结 2）干涉条纹为光程差相同的点的轨迹，即厚度相等的点的轨迹 垂直入射，等厚干涉 1）薄膜干涉光程差 3）厚度线性增长条纹等间距，厚度非线性增长条纹不等间距 4）条纹的动态变化分析（ 变化时） 5 ）半波损失需具体问题具体分析 第十一章 波动光学 第二讲 薄膜干涉—等厚干涉