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多弧离子镀制备的CrCN涂层组织及摩擦磨损性能

第25卷第2期 中国有色金属学报 2015年 2月 Volume25Number2 TheChineseJournalofNonferrousM etals February2015 文章编号:1004.0609(2015)02.0423—07 多弧离子镀制备的CrCN涂层组织及 摩擦磨损性能 陈 颢 一,叶育伟 一,王永欣 。,李金龙 。,羊建高 (1.江西理工大学 材料科学与工程学院,赣州 341000: 2.江西理工大学 钨资源高效开发及应用技术教育部工程研究中心,赣州 341000; 3.中国科学院 宁波材料技术与工程研究所 海洋新材料与应用技术重点实验室,宁波 315201) 摘 要:采用多弧离子镀技术在硅片和 316L不锈钢上制备了CrN和 CrCN涂层,利用扫描电镜(SEM)、电子能 谱(EDS)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱仪(xPs)对其表面形貌及成分进行表征,采用纳米压痕仪、划痕测 试仪及摩擦磨损试验机测试涂层力学及摩擦学性能,观察试样磨损形貌,并分析其磨损机理。结果表明:较之于 CrN涂层,所制备的CrCN涂层具有更均匀、致密的结构,与基体结合良好;涂层主要成分为Cf、c和N,其中 C元素主要以sp、sp3和c—Cr键的形式存在;CrCN涂层中由于强化相Cr7C3的产生和杂化c的形成等多种强 化作用,显著提高了其硬度和耐摩擦磨损性能。 关键词:CrCN涂层;CrN涂层;显微组织:硬度;摩擦;磨损性能 中图分类号:TG146.1 文献标志码:A M icrostructureandtribologicalpropertiesof CrCN coatingpreparedbyarcionplating CHEN Hao一,YEYu-wei一,WANGYong-xin3LIJing1ong3YANG Jian-gao , , (1.SchoolofMaterialsScienceandEngineering,JinagxiUniversityofSciencenadTechnology,Ganzhou341000,China; 2.EngineeringResearchCenterofHigh-efficiencyDevelopmentandApplicationTechn oloyg ofTungstenResources, MinistryofEducation,JiangxiUniversiytofScienceandTechnoloyg,Ganzhou341000,China; 3.KeyLaboratoryofMarineNewM aterialsnadRelatedTechn oloyg , NingboInstituteofMaterialTechnoloyg andEngineering,ChineseAcademyofSciences,Ningbo315201,China) Abstract:CrN andCrCN coatingwereprepraedon singlecrystalSiand316Lstainlesssteelbyracionplating.The surfacemorpholoyg,microstructures,phasecompositionsnadperformna ceoftheCrCN coatingwerecharacterizedby SE

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