太赫兹裂环谐振器的改进型TL—RLC模型.pdfVIP

勤 锨 材 料 2012年增刊Ⅱ(43)卷 太赫兹裂环谐振器的改进型 TL—RLC模型 阳元江 ，谢 强 ，张 平 ，张 青 ，李 胜 ，杨邦朝 (1．中国振华集团 云科电子有限公司，贵州 贵阳 510018； 2．电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 ，四川 成都 610054) 摘 要 ： 利用现代光刻技术 工艺制备 了一种圆形和 改进型TL—RLC模型及第 3个谐振频率的提出可 两种分别在 z和Y方向伸展的椭圆形裂环谐振器，并 帮助设计出更为适用的裂环谐振器。 在太赫兹时域系统进行测试 ，比较 了尺寸结构参数和 2 设计及制作 耦合系数对幅频特性的影响，提 出包含 LC谐振 、偶极 子谐振和第 3个谐振的改进 TL—RLC模型使模型与实 本文中所涉及的裂环谐振器的设计都基于电裂环 验数据更为吻合。并对第3个谐振频率的表达式进行 谐振器，通过结构对称设计达到消除或最大抑制磁 响 讨论 。 应_8l9_。高阻高纯本征硅在太赫兹频段具有低 的吸收 关键词 ： 裂环谐振器 ；改进型 TL—RLC模型；太赫兹 率_l】，而且其折射率波动较小可以认为是 3．418，所 以 中图分类号 ： TN6；044 文献标识码 ：A 选定其为基底材料。3种裂环谐振器平面示意图如图 文章编号 ：1001—9731(2012)增刊 Ⅱ一0290—06 1所示 ，线宽 d一4m，谐振缝隙间隔 g一2m，谐振缝 隙宽度 叫一6m，圆形裂环谐振器 MM1的外环半径 1 引 言 为 20#m，晶格常数 L 一L 一5Om；短 的椭圆裂环谐 左手材料是指一种介电常数 s和磁导率 同时为 振器 MM2的z方 向长轴为 24m，Y方向长轴为 11． 负值 ，具有异常物理性质 的物质 。从最初 的理论口到 5m，晶格常数L 一60m，L 一26m；长 的椭圆裂环 首次实验验证l_2]，左手材料 的研究引起越来越多人 的 谐振器MM3的z方向长轴为 l1．5m，Y方向长轴为 兴趣 [3“J。金属材质周期排列的裂环谐振器 经理论 24m，晶格常数L 一26gm，L 一60gm。图 1中灰色 分析和实验验证其等效磁导率在一定范围内表现为负 区域为金属。 值后 ，已发展成多种类型的单元结构。因为太赫兹频 谱代表一个特别有趣的频段[5]，当左手材料作为新颖 的科学及有潜力 的器件应用到宽广的频率范围时，其 在太赫兹频段 的应用也越来越 引起各科研小组 的重 视Ⅲ6]。裂环谐振器在太赫兹频段 的设计主要基于电 感电容(LC)谐振和偶极子谐振模式，通常情况下，LC 谐振和偶极子谐振之间的频率 间隔不大，有时甚至有 部分重叠，重叠的谐振会导致纯粹 的裂环谐振器的谐 振失真及复杂的相互谐振耦合 问题，A．K．AzadE小 ① 组提出一种 TL—RLC模 型直观地解释两种谐振模 式 MM3 及相互问耦合系数对幅频特性的影响。 图1 3种裂环谐振器的平面示意 图 Fig1Splitringresonatorunitcellsforplanarmeta— 本文利用现代光刻技术工艺制备 了3种微观结构 materialsamples 不同的椭圆形裂环谐振器 ，并在太赫兹时域系统进行