电子显微3-透射电子显微镜的结构.ppt

点分辨率： 定义： 电子图像上刚能分辨开的相邻两点在试样上的距离。 测量方法： 在照片上量出两个斑点中心之间的距离，除以图像的放大倍数。 线分辨率 指电子图像中能分辨出的最小晶面间距，也称晶格分辨率。 如金(200)晶面的间距是0.204 nm (220)晶面的间距是0.144 nm 0.144nm 0.204nm 如电镜能拍摄出金(200)的晶格条纹像，该电镜的线分辨率就是0.204 nm， 若能拍摄出金(220)的晶格条纹像，线分辨率就是0.144 nm。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电子显微分析 透射电子显微镜的结构 TEM概述 分辨率高 放大倍数高 照明源为聚焦电子束 成像信号为透射电子 试样为薄膜（几十到几百nm） 工作原理： 聚焦电子束作照明光源：电子枪产生的电子束，经1-2级聚光镜会聚后，均匀地照射试样上的某一待观察的微小区域上。 透射电子作为成像信号：电子束与试样作用，试样很薄——透射电子——其强度分布与试样的形貌、组成、结构对应。 透射出的电子经一系列透镜放大投射到荧光屏上。 荧光屏把电子强度分布转变为可见光强度分布———图像 （阴极射线发光过程） 工作过程概括： ①电子枪发出电子束→②经会聚透镜会聚 → ③照射并穿透试样 →④经物镜成像 → ⑤中间镜投影镜放大→ ⑥电子显微像 (屏或底片) 透射电镜的结构 分辨本领高,且能够作电子衍射 TEM与光学显微镜的比较 电镜 光镜 射线源 电子束 可见光 介质 真空 空气 透镜 磁场 玻璃 放大倍数 几十至几百万倍 约1000倍 放大作用 改变透镜电流或电压 变换物镜或目镜 最佳分辨率 ~2 ? ~2000 ? 操作与制样 复杂 简单 电子光学成像系 真空系统 电气系统 Tecnai F20 型TEM外观结构说明 JEM-2010F型TEM主体剖面图 1.照明部分 发叉式钨丝阴极三级电子枪 (1) 电子枪(2) 聚光镜 (1)电子枪——产生电子束 LaB6阴极电子枪 场发射电子枪 用于超高压电镜（1000kV），亮度大，能量分散性小，有利于提高分辨率。 发叉式钨丝阴极三级电子枪 相当于阴极(发叉式热钨丝) 、栅极(控制极)和阳极组成的静电透镜 阴极加负高压（-50~200KV）阳极接地（0电位） 控制栅极加比阴极负几百~几千伏的偏压 (其电位大小决定了阴极和阳极之间等电位面的分布和形状，从而控制阴极的电子发射电流) 电子枪交叉点：由阴极发射的发散电子束受到电场径向分量的作用，会聚，通过一最小截面，此处电子密度最高，称交叉点，定义为电镜的实际电子源。 热阴极电子枪 物性 熔点 （℃） 室温电阻 (μΩ) 密度 （g/cm^3） 维氏硬度(Gpa) 功函数(ev) 发射常数(A/cm·K) 数值 2715 15～27 4.7 27.2 2.66 29 场发射电子枪 场发射电子枪新型材料 电子枪种类汇总 磁透镜 中级透射电镜—单聚光镜 高级透射电镜—双聚光镜 (2)聚光镜——将电子束会聚，照射在试样上 第I聚光镜用短焦距强磁透镜，将电子枪形成的交叉斑缩小 几十至上百倍。 第II聚光镜用长焦距弱磁透镜，调节孔径角和亮度。其与试样间有较大空间，以便放置试样台、测角台及其他附件。 阴极（接 负高压） 控制极（比阴极 负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 图1-11 照明部分示意图 作用：挡掉发散的电子，保证电子束的相干性和照射区域。 聚光镜光阑：限制照明孔径角。 物镜光阑（衬度光阑）：安放于物镜后焦面，限制物镜孔径角，增加图象反差。另：在后焦面套取衍射束斑点成暗场像。 衍射光阑：第一中间镜也叫衍射镜。 选区光阑（视场光阑） ：放于物镜像平面位置，限制样品参与衍射的区域 (3)聚光镜光阑 样品台——承载样品（铜网） 圆 孔 方 孔 φ3mm 透射电镜观察的是按一定方法制备后置于电镜铜网上的样品。 样品台是用来承载样品（铜网）的。 侧插式样品杆 样品台可根据需要使样品倾斜或旋转，样品台还与镜筒外的机械杆相连，可使样品在两个相互垂直的方向平移。 平移、旋转、倾斜 顶插式：上、下极靴间隙较小 →球差小 →分辨本领高 倾斜角度达20°,倾斜过程中观察点的像稍有位移 侧插式：上、下极靴间隙较大 →球差大 →分辨本领差 倾斜角度达60°,倾斜过程中观察点的像不位移 特殊用途样品台：加热台、冷却台、拉伸台等 2.成像放大系统 物镜 + 1～2级中间镜 + 1～2级投影镜 中级透射电镜 （三级成像放大系统） 物镜 + 1级中间境 + 1级投影镜 高级透射