第五章 角度和圆分度误差的测量.ppt

第五章 角度和圆分度误差的测量 一、角度的单位和自然基准 二、角度的实物基准 1、角度块规： 2、多面棱体： 3、多齿分度盘： 4、圆光栅： 5、光电编码器： 6、圆感应同步器： 7、高精度度盘 在圆盘的某一圆周上刻有一系列的等分刻线以实现圆周等分的器件称为度盘。 度盘的角间隔一般为1o, 30′, 20′, 10′, 5′和4′几种。 用于角度及圆分度误差的静态测量。 三、角度测量的类型 主 要 内 容 §1 角度和圆锥角的测量 用角度极限样板检查角度 二、平台法 1．用等径圆柱和量块测两内表面的夹角和内锥角 等径圆柱测V形块夹角 用等径圆柱测V形块夹角 用钢球测内锥角 2. 两外表面的夹角和外锥角的测量 用正弦尺测外锥锥度 ＊小角度测量原理（检定自准直仪或水平仪） 三、坐标法（间接测量） 用三坐标测量机测锥度 图5一10 *影像测量法 四、用带圆周分度装置的仪器测量 1、用光学分度头测量角度 注意问题 2、测角仪测量角度 (1)用自准直望远镜瞄准测量 (2)用自准直望远镜和平行光管瞄准测量 五、光波干涉法 仪器原理 * 激光干涉小角度测量 二、圆周分度误差的概念 三、圆周分度误差的测量分类 §3 能自动计数的角度测量技术 （4）辨向 当可动光栅（主光栅）无论向前或向后移动时，在一固定点安装的光电元件只能接收到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。 目的：提高分辨力（测量比栅距更小的位移量）。 细分思想：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内, 发出n个脉冲, 每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍, 因此也称之为n倍频。 圆光栅的应用 1．环形莫尔条纹（切向圆光栅） 2 ．圆弧形莫尔条纹（径向圆光栅） 3 ．辐射形条纹（径向圆光栅） 用圆光栅产生环形莫尔条纹进行测量角度的3大优点： 图5—37 利用圆光栅检定度盘 轴角编码器-透射式光学码盘 码盘工作原理 感应同步器的工作原理 *录磁原理 1、动态磁头 2、静态磁头 三角形环路的环形激光器 环形激光器的测角原理 （一）磁性标尺 磁尺按基本形状分为 平面实体形 磁尺 一般长度为600mm 带 状 磁 尺 基体厚0.2mm，宽70mm 线 状 磁 尺 长度小于1.5m，套装在磁头内 圆 形 磁 尺 做成磁盘状，检测角位移 磁性标尺：表面录有相等节距（一般为0.05，0.1，0.2，1mm）周期变化的磁信号。 磁头是进行磁—电转换的变换器，它把反映空间位置的磁信号转换为电信号输送到检测电路中去。 使用单个磁头的输出信号很小，实际使用中常将几个到几十个磁头以一定的方式联接起来，组成多间隙磁头。多间隙磁头中的每一个磁头都以相同的间距W/2配置，相邻两个磁头的输出绕组反向串接。如图（多间隙磁头） （二）磁头 W/2 W 圆磁栅是在一个圆柱(或圆盘)为基体的圆周表面上镀上一层磁膜，当圆盘均匀旋转时，把一个频率非常准确、稳定的正弦电压信号记录在磁膜上(录磁)，就形成如图所示的磁格(n极和s极两两相对)，磁格数（磁波）即为圆周（或长度）的分度数。标准的圆磁栅是以磁波来分度的。 w 磁栅距 录磁 驱动步进电机 信号 发生器 分频滤波 录磁 放大器 录磁头 录磁盘 主轴 飞轮 飞轮 挠性联轴节 卸荷装置 控 制 旋 转 精 度 无级 分频器 分相器 功放 （2） 均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成，例如，200条/mm的光栅，10mm宽的光栅就由2000条线纹组成，这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了，消除了栅距之间不均匀造成的误差。 （3）莫尔条纹的移动与栅距的移动成比例 当光栅尺移动一个栅距B时，莫尔条纹也刚好移动了一个条纹宽度W。只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目，就可知道光栅移动了多少个栅距，工作台移动的距离可以计算出来。若光栅移动方向相反，则莫尔条纹移动方向也相反。 当光栅移动一个栅距，莫尔条纹便移动一个条纹宽度，假定我们开辟一个小窗口来观察莫尔条纹的变化情况，就会发现它在移动一个栅距期间明暗变化了一个周期，理论上光栅亮度变化是一个三角波形，但由于漏光和不能达到最大亮度，被削顶削底后而近似一个正弦波。 　　硅光电池将近似正弦波的光强信号变为同频率的电压信号，经光栅位移—数字变换电路放大、整形、微分输出脉冲。每产生一个脉冲，就代表移动了一个栅距那么大的位移，通过对脉冲计数便可得到工作台的移动距离。 在相差B/4位置上安放两个光电元件，得到两个相差π/2电压信号 辨向电路 （5）细分