电子背散射衍射在钢铁材料领域的应用.pdfVIP

维普资讯 8 率钢技术 2001年第 5期 电子背散射衍射在钢铁材料领域的应用 高 峰 海 超 (技 术 中 ) 摘 要 丰文较详细地舟 f 英 国引进 的电子背 敞射衍射 lEBSD)的原理、装 置构造 ．实验分析 方 法丑其 在钢铁 材 料领域 里 用 目前 ，EDS与 EB 】已集 成在 ，起 ，二 者安 装 任扣 描 电镜上 不但 能 同 时分 析样 品上 一点 的 i品体结 构 参数 ．n能 对块 吐样 品作 亚 敬米 镀的结 晶学分 析 ． 当 电子束 运点扫描分析 时还可得 到 种 新 的囝像 晶体取问分市周 (COM )一从而疆墩 娃微鲢 螬 的彤虢 成分及 结构的面分布的定量持折结县 开辟 显散织掏这一全新的科学领域 主题词 电子背反散衍射 显蒲织棒 1引言 花样 被向名 为 “菊池 线”。菊池线 是晶体结 显 微组缎 和结 晶学是 材料 工程师所 熟 构 的一种 重 要衍 射信 息 ，在 结构 分 析 中有 知 的概 念 。就 材料分 析而言 ．同时获得照 傲 黄广 泛 的应 用 ^射 电子与样 品作用产 生 组织和 结 晶学 的信息是很 重要 的 。传统 柏 的菊池 衍射 由于收集 装 置与样 品相对位置 不 同分 为透 射 电子衍 射 、电子通 道 花样 及 研究 方法 是 平行 而 不相联 系 的 ；光 学显 徽 电子背散射衍 射。几种衍射 技术 比较见表 术 、扫描 电子 显微 术 (配 备能谱 仪 )和 图象 】 分析仪用 以分析 显微组 织 ；X 射线衍 射分 析及透射 电子显微术的衍射功 能用于结 晶 学分 析 近几 年新开发 的 电子背 散射衍射 花样 探测器 ．计算机控 制与数据处理 系统 ， 使得在扫描 电镜上 安装 这 一跗忭 后，就可 以对 块状样 品上 亚微米 级显徽组织 逐点作 结 晶学 分析 ，当 电子 束逐点 扫 描时 还 可 以 自动获 得 晶体 取 向图 (COM)，使 扫描 电镜 上 的显微组 织 、微 区成分 与结 晶学 或者 说 织构 的分析 枢结台 ，形 成 了微观织 构 这一 全新 的科学 领域 。 本 文将 介绍 EBSD 的基 本原理 、实验 方法及 其应用 。 图] 锗的菊池衍射花样 2电子背散射衍射 2．1晶体取 向 当入 射 电子 束进人样 品时发散而使 电 背散射 电子 几率随 电子人射角减小而 子射 向各个 方 向，这些被 散 射 的电子 随后 增大 。将试样 高角度倾 斜 ，可 以使 电子背散 入 射 到 一定 的 晶面 ，这意 味着 电子 能在 晶 射衍射 强度增 大 。图 2是 电子 束在一组 晶 体 的所 有 晶 面 发 生布 拉格 衍 射 (即强反 面上衍射 并形成 一对菊池 线的示意 图 发 射 )，出现 一些 线状 花样 ，见 图 1．这些 线状 射的 电子柬两 面在这些平 面的三维 空间上 维普资讯 2091年第 5期 率钢技术 9 发生布拉格衍射并产生两个辐 射 圆锥 。当 EBSD 的探 测器接受角 宽度很 大 ，它 包含 荧光 屏被至 于与 圆锥交截 时，两个锥 形