运动学支撑定位精度检测技术研究AN INVESTIGATION INTO.PDF

CNIC-01652 CAEP-0114 运动学支撑定位精度检测技术研究 AN INVESTIGATION INTO MEAUREMENT FOR POSITION ACCURACY OF KINEMATIC MOUNTS (In Chinese) 中国核情报 中心 China Nuclear Information Centre 89 CNIC-01652 CAEP-0114 运动学支撑定位精度检测技术研究 符春渝 王军 王朝阳 戴静敏 (中国工程物理研究院结构力学研究所, 绵阳, 621900) 摘 要 把激光客观散斑方法与计算机图像处理和载波技术相结合，建 立了一套用于物体三维刚体位移测试的实验技术。并利用该技术对 运动学刚体支撑的定位精度进行了检测，给出了相关的试验数据， 同时，对测量系统的误差进行了标定和分析。 关键词： 激光客观散斑 图像处理 刚体位移 运动学支撑 载波技术 90 An Investigation into Meaurement for Position Accuracy of Kinematic Mounts (In Chinese) FU Chunyu WANG Jun WANG Zhaoyang DAI Jingmin ( Institute of Stuctual Mechanics, CAEP, Mianyang, 621900 ) ABSTRACT An experimental method is developed for measuring 3-D displacements of rigid bodies by combining laser objective speckle means with computer image processing and carrier wave technigue. By using this method, the positioning accuracy of a kinematically rigid mounts is measured and related test data are obtained. Meanwhile, the systematic error of measurement are analyzed and calibrated. Key words: Laser objective speckle, Image processing, Displacement of rigid body, Kinematic mount, Carrier wave technique 91 引 言 在精密光学工程中，由于许多光学部件（如透镜、分光镜、反射镜等）的位置精度要 求很高，拆卸安装后必须精确复位，因此，对光学部件的支撑定位（即称之为运动学支 撑定位）精度检测显得十分重要。本文应用激光客观散斑法的测量原理，提出了一种采 用激光客观散斑法记录被测样件特定平面之面内位移信息来实现测量其刚性位移的方 法，并结合计算机图象处理技术和载波技术建立起相应的检测技术及检测试验系统。这 一技术有效地克服了被测样件在拆卸复位过程中支撑装置的整体运动给定位精度检测带 来的影响，进一步提高了检测精度并解决了刚性位移正负号的判别问题。为了验证检