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高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
２８ １１ 犞狅犾．２８ 犖狅．１１
年 月 ，
２００７ １１ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犖狅狏．２００７
高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵
王 青 曹玉莲 何国荣 韦 欣 渠红伟 宋国峰 马文全 陈良惠
（中国科学院半导体研究所 纳米光电子实验室，北京 １０００８３）
摘要：报道了 高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵的研制 列阵单元为蜂窝状密堆积排列，单元台
９８０狀犿 ．
面直径为 ，氧化孔径为 ，相邻单元间隔为 制作了含 ， ， 个单元的列阵，讨论了它们的阈值
７０犿 ３０犿 １００犿． ７１９３７
μ μ μ
电流和远场特性 在室温连续工作条件下，种列阵的最大输出功率分别为 ， 和 其中含 个单元的
． ３ ０２６０５ ０６犠． ３７
列阵在 脉冲电流（脉宽 ，重复频率 ）激发下，输出功率达到
６犃 ３０狊 １００犎狕 １４犠．
μ
关键词：垂直腔面发射激光器；列阵；阈值电流；发散角；大功率
： ； ：
犘犃犆犆 ４２５５犘 ４２６０犅 犈犈犃犆犆 ４３２０犑
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
犜犖２４８４ 犃 ０２５３４１７７２００７１１１８０３０４
台面直径为 ７０犿，氧化孔径为 ３０犿，相邻单元间
μ μ
引言 隔为 ，按蜂窝状分别排列成 ， ， 个单元
１ １００犿 ７１９３７
μ
的列阵，其室温连续输出最大功率分别为 ，
０２６０５
［］
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