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大视场便携式白光干涉三维轮廓仪-仪器信息网
大视场便携式白光干涉三维轮廓仪
光学3D表面测量设备
·灵活便携
典型应用领域：
·操作简单
·质量管理
·厘米级视场
·工艺控制
·纳米级精度
·产品研发
SmartWLI - 大视场便携式白光
干涉三维轮廓仪，专用于车身、
印刷滚筒、太阳能电池等工业产
品的表面形貌测量与分析。
仪器采用白光干涉测量原理,
操作简单，可轻放于样品表面执
行测量任务。特有的三脚螺纹
支架结构，便于测量弯曲表面。
系统内置三束激光校准系统，便
于迅速锁定测量区域。外接笔记
本电脑完成数据分析，测量结果
立体直观呈现。
SmartWLI- 大视场便携式白光
干涉仪方便携带、易于运输。
现场安装与启动几分钟内即可完
成。适用工业产品表面快速、
纳米级精度测量。
SmartVIS3D 软件界面 2 € 硬币三维表面轮廓图
数据分析与结果输出：
·样品表面三维形貌图解表示
·几何分析 （长度、角度、面积测量；不规则区域、坑洞体积；样品表面台阶高度与侧面轮廓剖面图）
·粗糙度分析（样品粗糙度与表面波度）
·材料属性分析 （材料摩擦磨损实验测定）
·区域计算与轮廓参数 （满足ISO25178:S ,S 与ISO4287 :R ,R 标准要求）
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测量系统
量测原理 白光干涉
Z轴定位系统 压电效应调节系统
高度量测范围 最大可达800 μm
摄像头参数 CCD摄像头；1624x1234相素
校平系统 三束激光
视场范围 （mm²） 最小可分辨横向宽度（um） 工作距离 （mm）
干涉物镜系统
35x35
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