微柱状犆狊犐闪烁薄膜热蒸发生长工艺.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１０ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ． ２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００２０３７４０５ 　 微柱状犆狊犐闪烁薄膜热蒸发生长工艺 ， １ １２ １ １ １ １ １ 顾 牡 ， 张 敏 ， 刘小林 ， 姚达林 ， 倪 晨 ， 黄世明 ， 刘 波 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 同济大学 波耳固体物理研究所 波与材料微结构实验室，上海 ； 嘉兴学院机电工程分院，浙江 嘉兴 ） １． ２０００９２ ２． ３１４００１ 　 摘 要： 采用真空热蒸发法在石英玻璃基片上制备了具有特殊微柱状结构的碘化铯闪烁薄膜。运用扫 　　 　 　 描电子显微镜、 射线衍射仪和荧光光谱仪分别对碘化铯薄膜的形貌、结构及发光性能等进行了表征与分析。 Ｘ －１ 结果表明：在基片温度为 、沉积速率为 · 时，所生长的碘化铯薄膜具有理想的微柱形貌、沿 ２６０℃ ３ｎｍ ｓ （ ）晶面的择优取向和良好的透射性能；紫外光激发下，发射主峰为 ， 射线激发下，发射主峰为 １１０ ４３８ｎｍ Ｘ ３１５ ｎｍ，说明短波段发射峰需要的激发能量较高，而长波段发射峰对紫外光激发更为敏感。 关键词： 碘化铯闪烁薄膜； 热蒸发； 微柱状结构； 择优取向性； 结晶程度 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２５ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０３７４ 　　 　 　　　　 　 　 碱卤化物碘化铯（ ）闪烁薄膜在 射线成像等方面有着十分重要的应用。 年 等人 ＣｓＩ Ｘ １９７４ Ａ．Ｌ．Ｓｔｅｖｅｌｓ 　　 ［］ １ 发现通过选择合适的制备工艺可使 ＣｓＩ薄膜