激光烧蚀金属靶诱导靶电势效应的机理研究.pdfVIP

第36卷第 12期 光 子 学 报 Vo1．36 No．12 2007年12月 ACTA PHOT()NICA SINICA Deeember 2007 激光烧蚀金属靶诱导靶电势效应的机理研究* 纪运景，童朝霞，卞保民，张平，陆建 (南京理工大学 信息物理与工程系，南京 210094) 摘 要：利用Nd：YAG脉冲激光烧蚀Cu靶材，实验研究了不同激光能量下等离子体诱导靶上电 势的演变规律．结果表明：靶上电势信号呈现显著的双峰结构，第一个峰出现在激光烧蚀开始之后 约20 ns，持续时间仅约50 ns；而第二个峰出现约35 s之后，持续时间达到了上百微秒．通过对实 验结果的详细分析可知靶上电势信号的产生是激光等离子体荷电效应引起的，并提出了等离子体 对金属靶的静电感应、电荷复合一转移效应机制，解释了靶上电势信号的演变规律． 关键词：激光等离子体；金属靶电势；静电感应；电荷复合一转移作用 中图分类号：O536；O539 文献标识码：A 文章编号：1004—4213(2007)12—2187—5 0 引言 调)．金属靶为直径 2．5 mm、长度 20 mm的小铜靶 (纯度99．99 )，且处于金属屏蔽罩中，以防止外界 高功率脉冲激光在沉积薄膜(Pulsed Laser 对等离子体荷电粒子的干扰．高功率脉冲激光辐射 Deposition，PLD)和材料的微处理等许多方面已经 到金属靶表面，产生等离子体，金属靶上电势升高， 得到广泛的应用 ]．当高功率激光脉冲聚集到样品 由数字存贮示波器(Tektronix TDS 2024型，采样 表面时，在靶面附近形成激光等离子体，激光诱导等 率为2 GHz)观察和记录测试信号．同时，快响应 离子体中含有各种处于不同能量状态的粒子，包括 PIN管通过接收第二个分束镜的透射光产生一个电 原子、分子、离子及团簇等．激光烧蚀是一个非常复 信号来触发示波器，反射光进入型号为EPM 1000 杂的物理化学过程，其内在机理至今仍不十分清楚． 的能量计实现对出射激光能量的实时监测． 近年来，国内外研究工作者为了弄清和控制激光烧 Beam spliter conj丌ocave m r Lens Lens 蚀过程，在激光诱导等离子体电信号测量方面已进 行了大量的实验和理论研究 ]． 对激光诱导等离子体电学特性的研究方面，国 内外学者通常采用外加探针lg。。_或外加平行板直流 电场l】 的方法进行探测．然而，外部探针或电场的 加入必然会对等离子体的分布产生影响l3]．本文设 图 1 激光等离子体荷电特性测试买验原理 计了无偏置电压探针型金属靶，直接利用靶材作为 Fig．1 Experimental setup for the electric signal detection 探针，克服外部探针的加入对等离子体产生的干扰， 图1的实验探测系统中，金属靶与示波器直接 直接收集等离子体在金属靶上产生的电势变化信 相连，其中，示波器可以等效为电容 C(～16 pF)和 号，并根据信号的演变规律解释了电势变化的主要 电阻R(～10 MQ)的并联，形成RC电路(放电时间 机制． 为160 s)，如图2．可见，示波器记录的信号即靶上