MEMS和导航级MEMS惯性传感器_王忆锋.pdf

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2017-07-10 发布于浙江
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MEMS和导航级MEMS惯性传感器_王忆锋

DO I :10.16338/j .issn.1009 -1319.2008.08.024 MEMS MEMS 王忆锋　　　　介绍了 MEMS技术的原理及其设计与制造技术, 重点介绍了导航级 MEMS惯性传感器的发展和应用现 , 最后阐明自主研发是我国导航级 MEMS惯性传感器发展的唯一道路。　　　MEMS　　加速度计陀螺　　惯性传感器　　惯性测量装置　　惯性导航系统 1　MEMS 　 (MEMS, micro- 、、 , electro-mechanicalsystem) , 。 , 20 80 , 。。 1 IC, , MEMS MEMS 、 [ 2] , 。、、、。 MEMS MEMS MEMS , MEMS , 、、。、、。 MEMS 。 [ 1] , 1　MEMS , (miniaturization)、 MEMS , [ 3] (microelectronicsintegration) 、、、 , SPICE 、 (massfarication 。 MATLAB。 withprecision), 3M。 MEMS , , MEMS, , 。。 , CFD-ACE+、 MEMSCAD、 AN- MEMS , SYS, MEMS MEMS。 , , CAD。 2008-04 -10 , 飞航导弹　2008 8 ·51 · 　　MEMS, (DRIE)、 MIU、 INS, [ 5] , (LIGA) 、 , , , 、。、 , 。 GPS