脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究-无机化学学报.PDFVIP

第 期 无 机 化 学 学 报 :2D4 ,5! ’24 % % 年 月 Z[R’BNB \T]6’A^ TP R’T60A’RZ Z[BORNQ6_ A1U4! .##? .##? % 脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究 # 马志斌 万 军 张文文 汪建华 王升高 8 武汉化工学院材料科学与工程系 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 武汉 ; ! ! ?##/? 利用脉冲电弧放电电离甲醇溶液在常压下研究了含金刚石成分的碳膜的制备。用扫描电子显微镜8 NBO ; 、傅里叶红外光 谱 8 ; 、激光 光谱和 射线衍射 8 ; 研究了在确定的基片温度下甲醇浓度以及放电电压等沉积条件对薄膜的形 PQ@R6 6()(7 S S63 貌和金刚石的合成的影响。研究结果表明 在放电电压低于 时 薄膜主要由无序石墨和无定形碳组成。提高放电电压有助 .9: ! 于金刚石的合成 在高的放电电压下 降低甲醇溶液浓度有利于提高碳膜中金刚石成分的含量。 ! ! 关键词 脉冲电弧放电 甲醇溶液 碳膜 金刚石 分类号 T ,?4 / , 金刚石薄膜有许多优异的性能 如高的硬度、热 电沉积技术中的不足 采用脉冲电弧放电有效电离 ! ! 导率、弹性模量和光学透明性而广泛应用于机械、 甲醇溶液 探讨了在常压下制备含金刚石的碳膜甚 ! 光、声、电、热、电子学等各个领域。通常采用化学气 至金刚石薄膜的可能性。 相沉积法制备金刚石薄膜时 理想的沉积温度在 ! , 实验部分 ## $ %## ! 在其生长与冷却的过程中不可避免的 为了提高液体的电离度 本研究采用脉冲电弧 产生较大的内应力! 这些因素导致了化学气相沉积 ! 放电电离有机溶液。在液相沉积研究中 甲醇的研究 金刚石薄膜对基体材料的特殊要求 从而限制了金 !