第2章传感器原理.ppt

传感器原理及应用——第二章应变式传感器 2012年 第二章 应变式传感器 工作原理：当被测物理量作用于弹性元件上，弹性元件在力、力矩或压力等的作用下发生变形，产生相应的应变或位移，然后传递给与之相连的应变片，引起应变片的电阻值变化，通过测量电路变成电量输出。输出的电量大小反映被测量的大小。 结构：应变式传感器由弹性元件上粘贴应变片（+测量电路）构成 材料类型：金属应变片 、半导体应变片 应用范围：应变力、压力、转矩、位移、加速度 优点： 精度高测量范围广 频率响应特性较好 结构简单，尺寸小，质量轻 可在恶劣条件下工作 价格便宜品种多 缺点： 非线性严重 输出信号弱——抗干扰能力差 平均应变——不能反映应变梯度 一、金属丝式应变片 1、应变效应 金属导体在发生机械变形时，其阻值发生相应变化 2、应变片的结构与材料 3、横向效应 直线金属丝受纵向拉伸力时，丝上各段所感受的应力应变是相同的，因而每段的伸长也是相同的，金属丝总电阻的增加等于各段电阻增加的总和。但将金属丝绕制成敏感栅后，在同样的拉伸力作用下，沿拉伸力方向的直线段仍感受纵向拉应变而伸长；但弯曲的圆弧段在感受纵向拉应变的同时，也感受与纵向拉应变相反的横向压应变，称之为横向效应。 横向效应：弯曲半径越大，l小，横向效应越严重，致使电阻的增加值减小，应变片灵敏系数降低。 横向效应系数H=横向灵敏度系数/轴向灵敏度系数 金属丝电阻应变片基本特性 横向效应 机械滞后 在恒温下，应变片受力后，其内部会产生不可逆的残余变形，致使应变电阻在加载和卸载时，出现一定的差值，此差值称之为机械滞后，也将引起应变片灵敏系数下降。 蠕变 应变片受恒定力作用时，应变电阻值随时间而变化，这是因为应力在粘胶层中传递时出现滑动现象，胶层越厚，滑动越严重，这种现象称之为蠕变，蠕变结果也将引起灵敏系数下降。因而在应变片制作及往弹性元件上粘贴时，不但要选用同型号优质粘贴剂，而且粘贴层要薄而均匀。 温漂 4、温度误差及补偿 应变片敏感栅材料具有一定的温度系数，其电阻一般都受温度影响；另外电阻丝材料同测试材料的线膨胀系数不同，由于温度的变化会带来附加的应力。 电阻温度系数的影响 敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示： 二、金属箔式应变片 箔式应变计的线栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成很薄的金属薄栅（厚度一般在0.003～0.01mm），与丝式应变片相比： 工艺上能保证线栅的尺寸正确、 线条均匀, 大批量生产时, 阻值离散程度小。 可根据需要制成任意形状的箔式应变计和微型小基长（如基长为0.1 mm）的应变计。 敏感栅截面积为矩形, 表面积大, 散热好, 在相同截面情况下能通过较大电流。 厚度薄, 因此具有较好的可挠性, 它的扁平状箔栅有利于形变的传递。 蠕变小, 疲劳寿命高。 横向效应小。 便于批量生产, 生产效率高 薄膜式应变片 薄膜式应变计是采用真空溅射或真空沉积技术, 在薄的绝缘基片上蒸镀金属电阻薄膜（厚度在零点几纳米到几百纳米）, 再加上保护层制成。 其优点是灵敏度高, 允许通过的电流密度大, 工作温度范围广, 可工作于-197～317°C, 也可用于核辐射等特殊情况下。 三、测量电路 电阻应变片的测量线路多采用交流电桥(配交流放大器)，其原理和直流电桥相似。直流电桥比较简单，因此首先分析直流电桥。 交流载波放大器具有灵敏度高、稳定性好、外界干扰和电源影响小及造价低等优点，但存在工作频率上限较低、长导线时分布电容影响大等缺点。 直流放大器工作频带宽，能解决分布电容问题，但它需配用精密稳定电源供桥，造价较高。 近年来随着电子技术的发展，在数字应变仪、超动态应变仪中已逐渐采用直流放大形式的测量线路。 作业： 2-1 2-4 2-5 2-6 2-8 2-10 （a） 柱式；（b） 筒式；（c） 圆柱面展开图；（d） 桥路连线图 1、柱（筒）式力传感器 四、应变式传感器 2、梁力式传感器 等强度梁弹性元件是一种特殊形式的悬臂梁。梁的固定端宽度为b0，自由端宽度为b，梁长为L，粱厚为h。 等强度梁弹性元件 力F作用于梁端三角形顶点上，梁内各断面产生的应力相等，故在对L方向上粘贴应变片位置要求不严。 L R1 R3 R2 R4 x F h b b0 R4 3 、应变式压力传感器 　　主要用来测量流动介质的动态或静态压力 应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式弹性元件。  　　在压力p作用下，膜片产