窄带负滤光片膜层的制备论文.pdfVIP

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第35卷,增刊 红外与激光工程 2006年10月 V01.35 InfraredandLaser Oct.2006 Supplement Engineering 窄带负滤光片膜层的制备 刘凤玉,吴晓呜,张元生,庄纪纲 (中航一集团电光设备研究所,河南洛阳471009) 摘要:介绍了光学产品用负滤光片的特点.负滤光片适用于镀制要求某一光谱范围高反射率,其他波段 范围高透射的光学零件.讨论了窄带负滤光片膜层的结构特点、反射带宽度、反射率值与膜料及膜系的相对 关系,给出了典型的理论光谱特性曲线。镀制出了接近理论光学特性的窄带负滤片膜层,膜层的中心波长定 位精度2nm,中心波长漂移不大于2nin,非胶合状态下可直接在大气环境中使用. 关键词:负滤光片; 膜系结构;反射率; 等离子体辅助技术 . 中图分类号:0431.1 文献标识码:A 文章编号:1007.2276(2006)增B一0188.03 - Film fortornarrow.bandnarro filter coatinR negative coating !gative LIU Feng-yu,WUXiao—ming,ZHANGYuan-sheng,ZI-IUANGJi-gang Institute ILI-0y锄g ofElectro-OpticEquipment,AVIC471009。China) I,Luoyang of on Abstract:Thdcharacteristicsfilterused are filteris negative opficMproductsintroduced.Negative for film ofthe elementsthat acertain and applicablecoatingoptical requirehighreflecdvit),atspectrumcoverage transmittanceattheotherwavebands.Forthenarrow—bandfilter structural high negativefilm,the band betweenthe thematerialforfflraare the theoretical discussed,and width,relationshiprenectiV时and typical is filmfornarrow·bandfilterwas had featuresclose spectralpatternpresented.The negative produced,whichoptical tothetheoreticalvalues。Theorientationofcentral ofthefilmis2 dri

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