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第35卷,增刊 红外与激光工程 2006年10月
V01.35 InfraredandLaser Oct.2006
Supplement Engineering
窄带负滤光片膜层的制备
刘凤玉,吴晓呜,张元生,庄纪纲
(中航一集团电光设备研究所,河南洛阳471009)
摘要:介绍了光学产品用负滤光片的特点.负滤光片适用于镀制要求某一光谱范围高反射率,其他波段
范围高透射的光学零件.讨论了窄带负滤光片膜层的结构特点、反射带宽度、反射率值与膜料及膜系的相对
关系,给出了典型的理论光谱特性曲线。镀制出了接近理论光学特性的窄带负滤片膜层,膜层的中心波长定
位精度2nm,中心波长漂移不大于2nin,非胶合状态下可直接在大气环境中使用.
关键词:负滤光片; 膜系结构;反射率; 等离子体辅助技术 .
中图分类号:0431.1 文献标识码:A 文章编号:1007.2276(2006)增B一0188.03
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Film fortornarrow.bandnarro filter
coatinR negative
coating !gative
LIU
Feng-yu,WUXiao—ming,ZHANGYuan-sheng,ZI-IUANGJi-gang
Institute
ILI-0y锄g ofElectro-OpticEquipment,AVIC471009。China)
I,Luoyang
of on
Abstract:Thdcharacteristicsfilterused are filteris
negative opficMproductsintroduced.Negative
for
film ofthe elementsthat acertain and
applicablecoatingoptical requirehighreflecdvit),atspectrumcoverage
transmittanceattheotherwavebands.Forthenarrow—bandfilter structural
high negativefilm,the
band betweenthe thematerialforfflraare the theoretical
discussed,and
width,relationshiprenectiV时and typical
is filmfornarrow·bandfilterwas had featuresclose
spectralpatternpresented.The negative produced,whichoptical
tothetheoreticalvalues。Theorientationofcentral ofthefilmis2 dri
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